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真空規(guī)管有真空規(guī)和相對真空規(guī)，電容薄膜真空規(guī)為真空規(guī)，不管什么氣體對真空值都沒有影響。此規(guī)管用于刻蝕、CVD、PVD、ALD等半導(dǎo)體制造設(shè)備；數(shù)據(jù)貯存和顯示制造設(shè)備；工業(yè)真空設(shè)備；一般高精度壓強測量。根據(jù)彈性薄膜在壓差作用下產(chǎn)生應(yīng)變而引起電容變化的原理制成的真空計稱為電容式薄膜真空計，它由電容式薄膜規(guī)管（又稱為電容式壓力傳感器）和測量儀器兩部分組成。根據(jù)測量電容的不同方法，儀器結(jié)構(gòu)有偏位法和零位法兩種。零位法是一種補償法，具有較高的測量精度。目前在計量部門作為低真空副標準真空...

在真空鍍膜應(yīng)用中要用來一些氣體來輔助實現(xiàn)我們要的工藝，但流量的大小和如何來控制呢？這就是我們要告訴大家的。首先什么是質(zhì)量流量計（MFC）?質(zhì)量流量計，即MassFlowMeter（縮寫為MFM），是一種測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準，不需要溫度壓力補償。質(zhì)量流量控制器，即MassFlowController（縮寫為MFC），不但具有質(zhì)量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進行流量設(shè)定，MFC自動地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系...

真空鍍膜上如何使用好晶振片：1）取用晶片時要求表面清潔，不能與手等異物接觸，造成表面污染，這樣的晶片會很快失效。2）鍍膜過程晶片的溫度要盡量穩(wěn)定，否則鍍膜不穩(wěn)，偏差大。3）每次換完晶片，探頭接觸面要保養(yǎng)，定期檢查接觸電阻，接觸電阻大會過早失效。

MKS產(chǎn)品起源于壓力測量和控制核心技術(shù)，延伸到材料遞送,氣體和薄膜成分分析,靜電荷控制，工藝控制,信息管理,電源和反應(yīng)氣體發(fā)生器及真空技術(shù)。MKS流量計是以單位時間內(nèi)壓力體積的流量方式來控制氣體質(zhì)量流量的測量儀器。MKS薄膜真空計、MKS流量控制閥、MKS流量計廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體行業(yè)，鍍膜玻璃，醫(yī)藥制藥行業(yè)，生物工程行業(yè)，適合各種氣體媒介，常用的有氧氣，氫氣，氮氣，氯化氫氣體，氨氣，SICL4硅烷氣體等。如何選擇一款好的，適合工程用的MKS流量計則是人們當下zui關(guān)心的問題，下...

羅茨真空泵是一種無內(nèi)壓縮的旋轉(zhuǎn)變?nèi)菔秸婵毡茫址Q機械增壓泵，其優(yōu)點是在較低的入口壓力時具有較高的抽氣速率，是目前獲得中、高真空的主要抽氣設(shè)備之一，其工作原理與羅茨鼓風機相似，主要由一對同步高速旋轉(zhuǎn)的“8”字形轉(zhuǎn)子與兩個半圓形的泵腔組成。羅茨真空泵不能單獨排氣，必須與前級泵（如滑閥泵、旋片式真空泵、水環(huán)式真空泵、油環(huán)泵等）串聯(lián)使用，待被抽系統(tǒng)中的壓力被前級真空泵抽到羅茨真空泵所能接受的壓力時才能開始工作，否則將會因過載和過熱而損壞。在前級泵進氣口前面串聯(lián)上ZJ系列羅茨真空泵組成...

液體與蒸汽噴射泵、液環(huán)泵因其成本低，適用性廣而在工業(yè)流程中大量使用。但這些產(chǎn)品耗水、耗能巨大，并產(chǎn)生大量污染水，不能直接排放。干式螺桿真空機組雖然一次投資高于液體噴射或液環(huán)泵機組，但耗電常比后者低幾倍，耗水全無，自然也沒有成千上萬噸的污水，常年運行經(jīng)濟效益顯著。在水源極度匱乏的中國，在當今國內(nèi)外環(huán)保法規(guī)越來越嚴厲、排污成本越來越高的時代，在很多工藝適合的場合，不用水，用電省的干式螺桿泵正開始迅速替代傳統(tǒng)的真空泵，代表著高等級真空技術(shù)助力節(jié)能減排的發(fā)展方向。以螺桿型線老練程度和...

INFICON公司為客戶各種需要提供高質(zhì)量，低成本，與被測氣體無關(guān)的真空計。INFICON的規(guī)管有常溫條件下使用的CDG020D、CDG025D、CDG025D-X3三款。CDG020D的抗腐蝕性，任何方位可安裝，但量程跨度為2.5；CDG025D／S是zui常用經(jīng)濟的真空計，量程跨度4，CDG025D-X3為CDG025D的升級版；另外因使用溫度不同，對應(yīng)有CDG045D、CDG100D、CDG160D和CDG200D；如果使用環(huán)境要避免金屬污染的，我們還提供CDG025-...

INFICON公司有CDG電容膜片真空計、BPG400／BPG402-SB-A型皮拉尼真空計、HPG400高壓強熱電離皮拉尼真空計、BCG450B-A型皮拉尼電容膜片真空計、PSG500／PSG512-S皮拉尼標準真空計、PCG550／554皮拉尼電容膜片真空計、PEG100潘寧真空計、MPG400／401反磁控皮拉尼真空計和VGC401／403真空計控制器。如何來選擇呢？以下我們做具體的說明：一，皮拉尼真空計1.皮拉尼真空計原理加熱電阻絲，使之升溫至需要的工作溫度由于氣體粒...

長期以來市場上使用的一般閘閥普遍存在著漏水或生銹現(xiàn)象，真空閘閥引進歐洲高科技橡膠及閥門制造技術(shù)所生產(chǎn)的彈性座封閘閥，克服了一般閘閥密封不良，生銹等缺陷，彈性座封閘閥利用彈性閘板產(chǎn)生微量彈性變形的補償作用達到良好的密封效果，該閥具有開關(guān)輕巧、密封可靠、彈性記憶佳及使用壽命等顯著優(yōu)點?？蓮V泛用于自來水、污水、建筑、石油、化工、食品、醫(yī)藥、輕紡、電力、船舶、冶金、能源系統(tǒng)等體管線上作為調(diào)節(jié)和截流裝置使用。真空閘閥又稱閘板閥或閘門閥，應(yīng)用zui廣泛的一種閥門。真空閘閥由普通手動閘閥改...

應(yīng)用一、氦質(zhì)譜檢漏儀用于電廠檢漏—冷凝罐及汽輪機管路檢漏應(yīng)用電廠使用氦質(zhì)譜檢漏儀主要是對汽輪機內(nèi)部真空系統(tǒng)的檢漏，還有冷凝罐的檢漏，由于每一個環(huán)節(jié)如果有泄漏的話都會增加生產(chǎn)成本，所以電廠檢漏在實際生產(chǎn)中是非常重要的。電廠檢漏使用氦質(zhì)譜檢漏儀Sniffer模式，檢測方法為將吸槍放在真空泵排氣管路上，用氦氣噴在系統(tǒng)連接位置上，或者真空系統(tǒng)連接部位，噴一點后需要等一段時間，時間要看漏孔大小和真空泵的抽速而定（大約在十米遠的距離噴漏點在五秒內(nèi)就有反應(yīng)）。此方法為國內(nèi)電廠檢漏廣泛采用的...

近年來，電容式薄膜真空計取得了重大進展，新型的雙電容式薄膜真空計的問世，提高了該類真空計的精度，擴展了測量范圍，使其測量下限可達lO-3Pa。根據(jù)彈性薄膜在壓差作用下產(chǎn)生應(yīng)變而引起電容變化的原理制成的真空計稱為電容式薄膜真空計，它由電容式薄膜規(guī)管（又稱為電容式壓力傳感器）和測量儀器兩部分組成。根據(jù)測量電容的不同方法，儀器結(jié)構(gòu)有偏位法和零位法兩種。零位法是一種補償法，具有較高的測量精度。目前在計量部門作為低真空副標準真空計的就是采用零位法結(jié)構(gòu)。電容式薄膜規(guī)管的中間裝著一張金屬彈...

流體在旋轉(zhuǎn)的管內(nèi)流動時會對管壁產(chǎn)生一個力，它是科里奧利在1832年研究水輪機時發(fā)現(xiàn)的，簡稱科氏力。質(zhì)量流量計以科氏力為基礎(chǔ)，在傳感器內(nèi)部有兩根平行的T型振管，中部裝有驅(qū)動線圈，兩端裝有拾振線圈，變送器提供的激勵電壓加到驅(qū)動線圈上時，振動管作往復(fù)周質(zhì)量流量計期振動，工業(yè)過程的流體介質(zhì)流經(jīng)傳感器的振動管，就會在振管上產(chǎn)生科氏力效應(yīng)，使兩根振管扭轉(zhuǎn)振動，安裝在振管兩端的拾振線圈將產(chǎn)生相位不同的兩組信號，這兩個信號差與流經(jīng)傳感器的流體質(zhì)量流量成比例關(guān)系。計算機解算出流經(jīng)振管的質(zhì)量流量...