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關(guān)于四極質(zhì)譜(RGA)的問題

更新時間:2019-11-07      點(diǎn)擊次數(shù):5019

關(guān)于四極質(zhì)譜(RGA)的Q&A

一、真空腔體里還有殘留氣體,也就是說想分析一下這些氣體的成分或者比例,怎么辦?

    選用四極質(zhì)譜儀(RGA)。

二、什么是四極質(zhì)譜、它有什么功能及應(yīng)用?

     科銳詩汀代理的四極質(zhì)譜(RGA)是一種用于確定系統(tǒng)中存在的殘余氣體及數(shù)量的儀器。用于檢漏、工藝標(biāo)定和診斷。應(yīng)用于真空鍍膜、熱處理、半導(dǎo)體、太陽能等行業(yè)。

三、真空設(shè)備都要配四極質(zhì)譜(RGA)嗎?

    如果鍍膜工藝要求高,建議配上RGA,比如很多的鍍膜機(jī)(光馳、新科?。?biāo)配就有RGA

四、四極質(zhì)譜儀(RGA)可以檢漏嗎?

可以。

五、配了四極質(zhì)譜儀(RGA)還需要配檢漏儀嗎?

很多公司兩款都有配,因為檢漏儀的功能只是檢漏,而且一般都是全套帶泵組的,使用時非常簡單。而四極質(zhì)譜(RGA)要在一定的真空度上使用,且不止是檢氦氣,它的功能主要是分析真空腔體內(nèi)的氣體成份,檢漏只是它功能的一種。

六、INFICON產(chǎn)品型號有哪些,各有什么特點(diǎn),如何選擇?

       Transpector CPM緊湊型過程監(jiān)控器(帶分子泵組和采樣閥組、可自動控制、大真空度1.2大氣壓)

       Transpector  SPS 殘余氣體分析儀(帶分子泵組和采樣閥組、可自動控制、大真空度1.2大氣壓)

       CPMSPS比較 SPSCPM的簡化版本,功能更簡化。
       Transpector  XPR3+ 殘余氣體分析儀(質(zhì)量數(shù)在0-100Amu,大工作氣壓1.3X10-2mba

       Transpector  MPH 殘余氣體分析儀(質(zhì)量數(shù)0-100Amu0-200Amu、0-300Amu;大工作氣壓5X10-4mba

       Transpector  MPS 殘余氣體分析儀(質(zhì)量數(shù)0-100Amu0-200Amu、0-300Amu;大工作氣5X10-4mba

       MPHMPS比較,測量間隔小、零爆小、靈敏度高。

       QMG 700 分析質(zhì)譜儀

A、小于5X10-4mba  可選擇MPH/MPS

B、大氣壓          可選擇SPS/CPM。

C、小于1.3X10-2mba 可選擇XPR3。

關(guān)于質(zhì)量數(shù)的選擇:
1100Amu

   典型應(yīng)用于非反應(yīng)性工藝過程,如PVD鍍膜、熱處理、激光、普通氣體分析。檢測H2、HeH2O、N2、CoO2、Ar、CO2等小分子氣體。

2、200/300 Amu

   典型應(yīng)用于反應(yīng)性工藝過程,如ETCH/CVD等,監(jiān)測殘余氣體及工藝氣體如CCL4,碳?xì)浠衔铩?/span>SiCL4、SF6、C3F8、WF6Xe等高分子材料

七、關(guān)于參數(shù)指標(biāo)上的解讀?

1、檢測器類型有FCEM各是什么?
   FC是法拉第杯 EM是增強(qiáng)模塊。

2、小可檢分壓強(qiáng)是什么意思?

   是真空腔里存在氣體小壓強(qiáng),就像一桿秤,如果小于小壓強(qiáng),就不能秤出數(shù)據(jù)來。

3、儀器報警是怎么回事?

   一般是燈絲燒壞了。燈絲是耗材,一般客戶會備用一些。

4、RGA使用方便簡單嗎?容易學(xué)嗎?

   科銳詩汀提供詳細(xì)的使用說明書,簡單易上手。

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