1、Q:真空泵有什么用?
A:真空泵的作用就是從真空腔體中抽除氣體分子,降低真空腔體內(nèi)的氣體壓力,使之達(dá)到要求的真空度。
2、Q:每個腔體選擇一種真空泵就行了嗎?
A:從大氣到*真空有一個很大的范圍,至今為止還沒有一 種真空泵能覆蓋這個范圍。因此,為達(dá)到不同產(chǎn)品的工藝指標(biāo)、工作效率和設(shè)備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空系統(tǒng)配置,科銳詩汀可以提供的真空泵就包括:前級泵(各種旋片泵,干泵)、維持泵(羅茨泵)、擴(kuò)散泵、分子泵、離子泵等等全系列。
3、Q:選擇真空泵時要注意哪些參數(shù)?
A: a、工作真空范圍: 首先必須檢查確定每一種工藝要求的真空度。因為每一種工藝都有其適應(yīng)的真空度范圍,必須認(rèn)真研究確定之。
b、確定極限真空度:系統(tǒng)的極限真空度決定了系統(tǒng)的佳工作真空度。一般來講,系統(tǒng)的極限真空度比系統(tǒng)的工作真空度低20%,比前級泵的極限真空度低50%。
c、被抽氣體種類與抽氣量:如果被抽氣體種類與泵內(nèi)液體發(fā)生反應(yīng),泵系統(tǒng)將被污染。同時必須考慮確定合適的排氣時間與抽氣過程中產(chǎn)生的氣體量。
d、真空容積:同時確定達(dá)到要求的真空度所需要的時間、真空管道的流阻與泄漏。
e、抽氣速率:考慮達(dá)到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。
4、Q:真空泵的選型需要注意些什么?
A: 選用真空泵時需要注意以下事項:
- 真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求。如:真空鍍膜要求1×10-5mmHg的真空度,選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個到一個數(shù)量級。
- 正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍,如:擴(kuò)散泵為10-3~10-7mmHg,在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi),泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化,其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為5×10-4~5×10-6mmHg。因而,泵的工作點應(yīng)該選在這個范圍之內(nèi),而不能讓它在10-8mmHg下長期工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作壓強(qiáng)應(yīng)小于1×10-5mmHg為好。
- 真空泵在其工作壓強(qiáng)下,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。
- 正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵(例如科銳詩汀代理的普發(fā)分子泵)不能在大氣壓下工作,需要預(yù)真空;有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。
- 真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時,應(yīng)該選各種干泵,還有水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格,可以選擇油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達(dá)到清潔真空要求。
- 了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆?;覊m,有無腐蝕性等。選擇真空泵時,需要知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備,如冷凝器、除塵器等。
- 真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染,可以選干泵,或者把油蒸氣排到室外。
- 真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許,應(yīng)選擇無振動的泵或者采取防振動措施。
真空泵的價格、運(yùn)轉(zhuǎn)及維修費用??其J詩汀將為客戶提供性價比高的選擇。
深圳市科銳詩汀科技有限公司代理以下真空泵產(chǎn)品:
1、美國安捷倫(Agilent Technologies)的旋片泵、干泵、羅茨泵、分子泵、分子泵機(jī)組、擴(kuò)散泵、離子泵。
2、德國普發(fā)(PFEIFFER)的旋片泵、隔膜泵、螺桿泵、泵組、羅茨泵、分子泵、分子泵機(jī)組。
3、英國愛德華(EDWARDS)真空泵
4、德國萊寶(LEYBOLD)真空泵
5、日本阿耐思特巖田干泵(ISP-50、ISO-90、ISP-250C、ISP500C、ISPC-1000)