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氦檢漏儀如何擺脫水蒸氣影響

更新時(shí)間:2022-01-05      點(diǎn)擊次數(shù):1700

氦檢漏儀如何擺脫水蒸氣影響

近日,INFICON(英福康)重磅發(fā)布了UL3000FabUL6000移動(dòng)式氦氣檢漏儀,它們集成了三大創(chuàng)新功能:

1、第二代智能抑零I-ZERO 2.0

2、本底檢測(cè)I-Check

3、水汽抑制HYDRO-S

其中,HYDRO-S是一項(xiàng)研發(fā)的技術(shù),用以擺脫水蒸氣對(duì)本底值的影響,實(shí)現(xiàn)更快、更精準(zhǔn)的檢漏的創(chuàng)新功能!

HYDRO-S的英文全稱是HYDROgen-Suppression,中文翻譯為氫抑制。

被測(cè)試對(duì)象在抽空過程中,水蒸氣會(huì)形成不必要的本底背景,該軟件可以分離和清除來自水蒸氣的背景值,有助于使檢漏設(shè)備盡快達(dá)到低氦氣本底背景水平,從而更快開始進(jìn)行泄漏測(cè)試。

為了驗(yàn)證HYDRO-S的功能效果,我們做了一個(gè)對(duì)比測(cè)試,如下圖:

1.png

圖中的兩根指示線分別代表了UL3000在啟動(dòng)HYDRO-S功能和未啟動(dòng)HYDRO-S功能時(shí)的泄漏測(cè)試信號(hào),兩個(gè)信號(hào)均連接到50升測(cè)試體積,并在該體積下,于4分鐘后時(shí)同時(shí)連接有3.3 E-9 mbar l/s測(cè)試漏孔。

由圖可見,HYDRO-S的優(yōu)勢(shì)顯而易見:

泄漏測(cè)試開始,被測(cè)對(duì)象抽空過程中,開啟HYDRO-S功能的UL30002.5分鐘后就已達(dá)到了8x10E-10的本底背景氦信號(hào),并將此本底值保持至第4分鐘,而未開啟HYDRO-S功能的UL3000由于水蒸氣中的影響,信號(hào)曲線始終無法穩(wěn)定且達(dá)到更低的本底背景水平。

在測(cè)試第4分鐘,打開測(cè)試漏孔后,開啟HYDRO-S功能的信號(hào)曲線很快就顯示出了準(zhǔn)確的泄漏值,并在第6分鐘漏孔關(guān)閉后,返回到了本底背景。

未開啟HYDRO-S功能UL30004分鐘后未達(dá)到10E-10范圍,打開的測(cè)試泄漏在下降的背景中消失,無法確定是否存在泄漏

 

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