技術(shù)文章
靈敏度、反應(yīng)時(shí)間、清除時(shí)間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評(píng)價(jià)氦質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標(biāo)。
①靈敏度及其校準(zhǔn)
氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度,通常指儀器的zui小可檢漏率。記為qL.min,即在儀器處于*工作條件下,以一個(gè)大氣壓的純氦氣為示漏氣體,進(jìn)行動(dòng)態(tài)檢漏時(shí)所能檢測(cè)出的zui小漏孔漏率。所謂“*工作條件”是指儀器參數(shù)調(diào)整到*值,被檢件出氣少且沒(méi)有大漏孔等條件。所謂“動(dòng)態(tài)檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統(tǒng)仍在正常抽氣。儀器的反應(yīng)時(shí)間不大于3s。所謂“zui小可檢”是指檢漏訊號(hào)為儀器本底噪聲的兩倍時(shí),才能認(rèn)定有漏氣訊號(hào)輸出。所謂“漏孔漏率”是指一個(gè)大氣壓的干燥空氣通過(guò)漏孔漏向真空側(cè)的漏氣速率。儀器本底噪聲,一般指在2min內(nèi)輸出儀表的zui大波動(dòng)量。
濃度靈敏度校準(zhǔn)系統(tǒng)中應(yīng)用*量計(jì)測(cè)出通過(guò)針閥2進(jìn)入儀器的空氣流率qL.o,則儀器濃度靈敏度。
如果檢漏時(shí)用輔助系統(tǒng)抽氣(即對(duì)示漏氦氣有分流)。或用累積法檢漏時(shí),給出儀器zui小可檢氦濃度(即濃度靈敏度)。記為γmin,能較方便地估計(jì)檢漏效果。
②反應(yīng)時(shí)間、清除時(shí)間及其測(cè)定
反應(yīng)時(shí)間是指儀器節(jié)流閥*開(kāi)啟,本底訊號(hào)為零(或補(bǔ)償?shù)搅悖r(shí),由恒定的氦流量使輸儀表訊號(hào)上升到zui大值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的時(shí)間,記為τR。
清除時(shí)間是指輸出儀表訊號(hào)穩(wěn)定到zui大值后,停止送氦,其訊號(hào)下降到zui大值的e-1倍(即O.37)所需要的時(shí)間,記為τC。
③工作真空、極限真空及入口處抽速
質(zhì)譜室極限真空,尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數(shù)。利用檢漏儀的真空規(guī)可以測(cè)定儀器的極限真空和工作真空。利用流量計(jì)可測(cè)定儀器入口處抽速。