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鍍膜機的蒸發(fā)系統(tǒng)的概述
鍍膜機的蒸發(fā)系統(tǒng)的概述
更新時間:2011-07-18 點擊次數(shù):2823
鍍膜機的蒸發(fā)系統(tǒng)
蒸發(fā)系統(tǒng)主要指成膜裝置部分,鍍膜機器的成膜裝置很多,有電阻加熱、電子槍蒸發(fā)、磁控濺射、射頻濺射、離子鍍等多種方式,鄙人就電阻加熱和電子槍蒸發(fā)兩種方式作介紹,因為此兩種方式我應用的比較多。
電阻蒸發(fā)根據(jù)其結構和工作原理是目前為止應用zui多,zui廣泛的蒸發(fā)方式,也是應用時間zui長的蒸發(fā)方式。它的工作方式是,將鎢片做成船狀,然后安裝在兩個電極中間,在鎢舟中央加上藥材,再緩緩給電極通電,電流通過鎢舟,鎢舟通電發(fā)熱,這些低電壓,大電流使高熔點的鎢舟產生熱量,再熱傳導給鍍膜材料,當鎢舟的熱量高于鍍膜材料熔點的時候,材料就升華或者蒸發(fā)了,此方法由于操作方便,結構簡單,成本低廉,故被很多設備應用,但是其蒸發(fā)出來的薄膜由于致密性不佳,加上很多材料無法采用這種方式蒸鍍,所以其有一定局限性。鎢舟蒸發(fā)鍍膜材料的時候,材料的熔點必須小于鎢舟的熔點,否則就沒有辦法進行。
電子槍蒸發(fā)是到目前為止應用zui多的一種蒸發(fā)方式,它可以蒸發(fā)任何一種鍍膜材料,它的工作方式是:將鍍膜材料放在坩堝里面,將蒸發(fā)源制作成燈絲形狀,采用一專門的控制柜,對燈絲加一強電流,高電壓,由于燈絲的材料是鎢,所以它會發(fā)熱,到zui后會發(fā)射電子,再采用一定的磁場將其聚集成一定形狀,并牽引到坩堝上,這樣就形成了一股電子束,由于電子束溫度非常高,可以熔化任何鍍膜藥材,當鍍膜藥材被電子束熔化后(有些材料是直接升華),藥材的分子(原子或者離子)在真空中成直線運動,然后遇到基板,就凝結下來,經過這種方式生長,形成薄膜!zui常用的有將電子束的偏轉角制作成270度,、或者運行軌跡為e型的e行電子槍或者電子束偏轉角180度,運行軌跡為c型的c型電子槍兩種。
電子束蒸發(fā)的zui大優(yōu)點在于:電子束的光斑可以隨意調整,可以一槍多用,燈絲可以隱藏,避免污染,可以蒸發(fā)任意鍍膜材料,維修方便,蒸發(fā)速度可以隨意控制,材料分解小,膜密度高。機械強度好。
用濺射的方法制鍍的薄膜附著性強,薄膜的純度高,可以同時濺射多種不同成分的材料,但是對靶材的要求高,不能象電子槍一樣節(jié)約資源。
濺射方式是用高速正離子轟擊靶材表面,通過動能傳輸,令靶材的分子(原子)有足夠的能量從靶材表面逸出,在產品表面凝聚形成薄膜。
目前運用zui多的有磁控濺射,磁控濺射是指平行于陰極表面施加強電場,將電子約束在陰極靶材表面附近,提高電離效率。它是操作zui簡單的一種,所以運用非常廣。
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