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Inficon高精度薄膜電容規(guī)(CDG)
INFICON 陶瓷電容式膜片真空計 (CDG) 專為要求極其嚴格和準確度要求jigao (0.15%)的真空行業(yè)設計。防腐蝕超純氧化鋁材料傳感器,可確保該真空計*的性能、長期的穩(wěn)定性、高準確度和多年免維護。精準真空測量范圍從 0.1 毫乇到 2 巴。
其測量原理是通過測量不同壓力下的陶瓷膜片的變形量測量真空度。
INFICON 提供規(guī)格齊全電容式膜片真空計(CDG),從價格便宜的Porter狀態(tài)真空計到shijieshagnzui快的測量時間不到1毫秒Stripe電容式膜片真空計(CDG)、200℃過程控制規(guī)管壓力表或具有優(yōu)良穩(wěn)定性的比對真空計校準儀。豐富可選的法蘭和通訊接口的大量選用(如以太網接口)使這些儀表成為既簡單又實惠的結合。
具體型號有:
Porter CDG020D;CDG025D;CDG045D。
加熱型CDG100D;加熱型CDG160D;加熱型CDG200D。
高速加熱型StripeCDG45Dhs;高速加熱型StripeCDG45Dhs。
設計緊湊的加熱式Edge CDG045D2;
設計緊湊的加熱式Edge CDG100D2。
典型應用
· 用于刻蝕、CVD、PVD、ALD 的半導體生產設備
· 數據存儲和顯示制造設備
· 工業(yè)真空設備
· 常規(guī)高精度壓力測量
· 真空鍍膜
· 真空監(jiān)控
· 食品與包裝
· 真空爐,拉晶器
· 化學真空過程
深圳市科銳詩汀,集真空計、撿漏儀、真空腔體、真空閥門、真空泵、真空管道于一體的真空系統(tǒng)服務商,竭誠為真空行業(yè)提供高質量的產品和服務!
作者:深圳市科銳詩汀科技有限公司真空技術中心
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