技術(shù)文章
Inficon高精度薄膜電容規(guī)(CDG)
INFICON 陶瓷電容式膜片真空計(jì) (CDG) 專為要求極其嚴(yán)格和準(zhǔn)確度要求jigao (0.15%)的真空行業(yè)設(shè)計(jì)。防腐蝕超純氧化鋁材料傳感器,可確保該真空計(jì)*的性能、長(zhǎng)期的穩(wěn)定性、高準(zhǔn)確度和多年免維護(hù)。精準(zhǔn)真空測(cè)量范圍從 0.1 毫乇到 2 巴。
其測(cè)量原理是通過測(cè)量不同壓力下的陶瓷膜片的變形量測(cè)量真空度。
INFICON 提供規(guī)格齊全電容式膜片真空計(jì)(CDG),從價(jià)格便宜的Porter狀態(tài)真空計(jì)到shijieshagnzui快的測(cè)量時(shí)間不到1毫秒Stripe電容式膜片真空計(jì)(CDG)、200℃過程控制規(guī)管壓力表或具有優(yōu)良穩(wěn)定性的比對(duì)真空計(jì)校準(zhǔn)儀。豐富可選的法蘭和通訊接口的大量選用(如以太網(wǎng)接口)使這些儀表成為既簡(jiǎn)單又實(shí)惠的結(jié)合。
具體型號(hào)有:
Porter CDG020D;CDG025D;CDG045D。
加熱型CDG100D;加熱型CDG160D;加熱型CDG200D。
高速加熱型StripeCDG45Dhs;高速加熱型StripeCDG45Dhs。
設(shè)計(jì)緊湊的加熱式Edge CDG045D2;
設(shè)計(jì)緊湊的加熱式Edge CDG100D2。
典型應(yīng)用
· 用于刻蝕、CVD、PVD、ALD 的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備
· 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和顯示制造設(shè)備
· 工業(yè)真空設(shè)備
· 常規(guī)高精度壓力測(cè)量
· 真空鍍膜
· 真空監(jiān)控
· 食品與包裝
· 真空爐,拉晶器
· 化學(xué)真空過程
深圳市科銳詩(shī)汀,集真空計(jì)、撿漏儀、真空腔體、真空閥門、真空泵、真空管道于一體的真空系統(tǒng)服務(wù)商,竭誠(chéng)為真空行業(yè)提供高質(zhì)量的產(chǎn)品和服務(wù)!
作者:深圳市科銳詩(shī)汀科技有限公司真空技術(shù)中心
備注:以上文章內(nèi)容為inficon相關(guān)文章的節(jié)選