英?？祻?fù)合真空計(jì)是一種廣泛應(yīng)用于真空技術(shù)領(lǐng)域的儀器，主要用于測量和監(jiān)控真空系統(tǒng)的壓力。它具有高精度、可靠性和多功能性等特點(diǎn)，被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光學(xué)薄膜涂層、材料研究和其他真空相關(guān)的工業(yè)和科學(xué)領(lǐng)域。
1.熱導(dǎo)法：通過測量兩個(gè)熱電偶之間的溫差來確定氣體的壓力。其中一個(gè)熱電偶受到加熱元件的加熱，而另一個(gè)熱電偶則處于環(huán)境溫度下。當(dāng)氣體分子撞擊加熱元件時(shí)，導(dǎo)致加熱元件的溫度升高，使得兩個(gè)熱電偶之間的溫差發(fā)生變化。通過測量溫差的變化，可以確定氣體的壓力。
2.電子離子阱：通過測量電子離子阱中的離子電流來確定氣體的壓力。當(dāng)氣體分子進(jìn)入電子離子阱時(shí)，它們與阱內(nèi)的電子發(fā)生碰撞，從而產(chǎn)生電離。這些離子被吸引到阱壁上的電極上，并形成一個(gè)電流信號(hào)。通過測量電流信號(hào)的大小，可以確定氣體的壓力。
特點(diǎn)：
1.高精度：具有高精度的壓力測量能力，可測量從大氣壓到超高真空范圍的壓力變化。
2.可靠性：該真空計(jì)采用傳感器和電子技術(shù)，具有穩(wěn)定的性能和長壽命，可在長時(shí)間運(yùn)行和惡劣環(huán)境下工作。
3.多功能：可根據(jù)需要進(jìn)行不同的測量模式選擇，如絕對(duì)壓力模式、相對(duì)壓力模式和泄漏率測試模式等。
4.易于使用：該儀器具有直觀的操作界面和用戶友好的功能設(shè)置，易于設(shè)置和讀取壓力測量結(jié)果。
5.數(shù)據(jù)記錄和通信：配備數(shù)據(jù)記錄和通信接口，可與計(jì)算機(jī)或其他設(shè)備進(jìn)行數(shù)據(jù)傳輸和分析。
英?？祻?fù)合真空計(jì)在各種真空應(yīng)用中發(fā)揮著重要作用：
1.半導(dǎo)體制造：在集成電路制造和半導(dǎo)體工藝過程中，用于監(jiān)測各個(gè)步驟中的真空壓力，確保生產(chǎn)過程的穩(wěn)定性和一致性。
2.光學(xué)薄膜涂層：在光學(xué)薄膜涂層過程中，用于監(jiān)測反射鍍膜設(shè)備中的氣體壓力，保證涂層質(zhì)量和效果。
3.材料研究：在材料科學(xué)和表面物理學(xué)研究中，用于監(jiān)測和控制實(shí)驗(yàn)室中的真空環(huán)境，以確保實(shí)驗(yàn)結(jié)果的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性。
4.真空設(shè)備監(jiān)測：可用于各種真空設(shè)備的監(jiān)測和維護(hù)，包括真空泵、真空槽和真空封裝設(shè)備等。
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