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矩形傳輸閥的產(chǎn)品介紹
日揚科技真空矩形閥由日揚自主設(shè)計和生產(chǎn)制造,作為一款真空系統(tǒng)密封零部件,它擁有zhuoyue的操作性能、高耐用性、低振動和高潔凈度等優(yōu)點。
規(guī)格參數(shù):
閥門采用氣動驅(qū)動模式,開啟/關(guān)閉的最快時間不超過1s,閥體開口尺寸可按客戶需求定制。當閥門開啟時,壓力差值小于10mbar,閥門內(nèi)部軸密封采用波紋管,閥體材料可以選擇不銹鋼或者鋁合金材質(zhì),表面可以做電解拋光或者硬質(zhì)陽極氧化處理。
應用場景:矩形傳輸閥廣泛應用于半導體或者光伏行業(yè)的鍍膜系統(tǒng),一般安裝至lock-load腔室和傳輸腔體間以及工藝腔和傳輸腔體之間,是物料的傳輸窗口。lock-load腔室與外界大氣間一般采用矩形門閥,而連接真空泵和工藝腔體用于排氣的閥門可用鐘擺閥。
設(shè)計原則:這款矩形閥所有移動件都位于大氣側(cè),可以保證在真空側(cè)減少微塵顆粒的產(chǎn)生。閥體密封門可以快速拆卸,便于更換O-ring密封圈。當氣壓損失時,閥門底部的逆止閥可以保證閥板密封件自動鎖緊,防止泄漏。
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