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技術(shù)文章
從手機(jī)、電腦，到汽車、電器，再到醫(yī)療儀器、航空裝備，我們生活中的很多事物都離不開先進(jìn)的半導(dǎo)體技術(shù)，而產(chǎn)量和規(guī)模的不斷增長，也讓芯片制造工藝越來越精密。準(zhǔn)確的泄漏檢測技術(shù)，是確保半導(dǎo)體產(chǎn)品質(zhì)量和提升生產(chǎn)效率的關(guān)鍵。
本文就將為您淺析英?？翟诎雽?dǎo)體泄漏檢測領(lǐng)域多樣化的應(yīng)用場景和產(chǎn)品方案
保持真空
英?？稻_的泄漏檢測方案可確保對(duì)半導(dǎo)體工藝至關(guān)重要的真空條件的完整性。即使是極微小的泄漏，也可加以識(shí)別和修復(fù)，以確保 dute的半導(dǎo)體特性。
保持潔凈室條件
使用示蹤氣體進(jìn)行泄漏檢測，可有效防止顆粒和污染物的進(jìn)入，維護(hù)半導(dǎo)體潔凈室嚴(yán)格的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)。
定位復(fù)雜泄漏
英?？档男孤z測技術(shù)，包括示蹤氣體的使用，可有效識(shí)別定位不同配置的復(fù)雜半導(dǎo)體設(shè)備中的各種泄漏。
捕捉微小泄漏，保持產(chǎn)品品質(zhì)
精確、高靈敏度的泄漏檢測方案可確保識(shí)別極微小的泄漏，以保持半導(dǎo)體制造工藝所需的純度，防止缺陷和確保產(chǎn)品質(zhì)量。
材料兼容性
英福康的泄漏檢測方案與半導(dǎo)體材料兼容，可確保不會(huì)損壞或改變半導(dǎo)體制造中所用材料的性能。
快速檢測泄漏，實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)能
英福康提供的可靠泄漏檢測系統(tǒng)能夠以極快的速度獲得可靠的結(jié)果，從而提高半導(dǎo)體制造的產(chǎn)能。快速識(shí)別和解決泄漏問題也是最大限度減少停機(jī)時(shí)間，確保生產(chǎn)效率的關(guān)鍵。
與自動(dòng)化系統(tǒng)集成
英?？档男孤z測方案可與自動(dòng)化系統(tǒng)無縫集成，實(shí)現(xiàn)持續(xù)監(jiān)控和即時(shí)泄漏響應(yīng)，并有助于提高半導(dǎo)體自動(dòng)化制造過程的整體設(shè)備效率 (OEE)。
經(jīng)濟(jì)高效的解決方案
英?？抵铝τ陂_發(fā)經(jīng)濟(jì)高效的泄漏檢測解決方案，在準(zhǔn)確性和成本之間取得平衡。
福康所提供的用于嗅探和真空檢漏的檢漏儀，被廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體芯片制造、太陽能電池生產(chǎn)線、平板顯示器、玻璃和塑料箔鍍膜以及一般真空系統(tǒng)中。
UL6000 Fab
UL6000 Fab 系列是 UL 移動(dòng)式氦氣檢漏儀產(chǎn)品組合中的旗艦產(chǎn)品。其專為半導(dǎo)體工廠中的大型工具，以及太陽能電池制造、平板顯示器和片到片或卷到卷（卷筒）涂層中使用的大型涂層工具而設(shè)計(jì)。該設(shè)備在所有測量范圍內(nèi)都能提供快速響應(yīng)，測試時(shí)間極短，使泄漏檢測更為準(zhǔn)確、高效、簡便。
此外，該設(shè)備的占地面積很小，可確保在對(duì)工具空間要求更嚴(yán)格的工廠環(huán)境中，獲得可操作性和足夠的工作空間。
UL3000 Fab
UL3000 Fab 系列移動(dòng)式氦氣檢漏儀，專為半導(dǎo)體工廠中大多數(shù)工具的檢漏需求而設(shè)計(jì)。它具有靈活性、移動(dòng)性、快速啟動(dòng)、高靈敏度、高準(zhǔn)確性和高可靠性等特點(diǎn)。與 UL6000 Fab 一樣，它的占地面積非常小，可幫助用戶更有效地利用昂貴的潔凈室空間。
UL1000 Fab
UL1000 Fab 系列移動(dòng)式氦氣檢漏儀，是工業(yè)或半導(dǎo)體環(huán)境中經(jīng)濟(jì)型氦氣真空檢漏的性產(chǎn)品，尤其適用于較小的真空室。該設(shè)備在高性能、堅(jiān)固性和經(jīng)濟(jì)性之間實(shí)現(xiàn)了最佳平衡。
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