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氦質(zhì)譜檢漏儀的應(yīng)用和原理

更新時(shí)間:2013-06-27      點(diǎn)擊次數(shù):2407
氦質(zhì)譜檢漏儀,是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器。它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn)。是真空檢漏技術(shù)中靈敏度zui高,使用zui普遍的檢漏儀器。


氦質(zhì)譜檢漏儀的應(yīng)用:

元件檢漏的要求,靈活性測(cè)試,高靈敏度,快速于的結(jié)果,快速啟動(dòng),移動(dòng)性和系統(tǒng)的可靠性。

半導(dǎo)體工藝設(shè)備的維護(hù),該設(shè)備本身帶或未帶有真空泵

工藝氣體系統(tǒng)的檢測(cè)與安裝

元器件在組裝前的漏率測(cè)試

要求高抽速、高靈敏度以及清潔測(cè)試條件的應(yīng)用場(chǎng)合


氦質(zhì)譜檢漏儀的原理:

氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子,在室內(nèi)來回地振蕩,并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些氦離子在加速電場(chǎng)作用下進(jìn)人磁場(chǎng),由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn),形成圓弧形軌道,改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場(chǎng)和接收縫到達(dá)接收極而被檢測(cè)。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中zui常用的兩種方法。



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