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INFICON公司將于2010年底停止IC5型膜厚控制儀的生產(chǎn)和銷售。INFICON公司將繼續(xù)保證在用的IC5的保修,維修及零部件的長期供應(yīng)。
從2010年8月起,INFICON公司將正式開始IC5的替代升級型號;IC6的市場銷售。IC6在保留了IC5的所有技術(shù)特點(diǎn)之外還有新的改進(jìn)。例如:TFT-LCD顯示屏替代IC5的CRT顯像管;USB數(shù)據(jù)采集接口取代IC5的軟盤驅(qū)動;測量精度由IC5的0.0047Hz提高到0.0035Hz;控制厚度分辨率由IC5的0.0058提高到0.0043À.