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真空的由來及制造真空的設(shè)備——高真空鍍膜機(jī)
真空的由來及制造真空的設(shè)備——高真空鍍膜機(jī)
更新時(shí)間:2011-02-23 點(diǎn)擊次數(shù):2719
科學(xué)技術(shù)飛躍的今天,光電技術(shù)的發(fā)展與應(yīng)用已經(jīng)深入到各行各業(yè),但是其制備的必須設(shè)備
——
真空鍍膜機(jī)器,由zui初的復(fù)雜化、手動(dòng)化和只能被應(yīng)用到軍事科研領(lǐng)域,發(fā)展到現(xiàn)在的簡(jiǎn)單化,集成化,智能化,并且被廣泛推行及民用,價(jià)格也由之前的幾千萬一臺(tái)降到現(xiàn)在的幾百萬就可以買到。光電技術(shù)的發(fā)展必然以真空技術(shù)為基礎(chǔ)。
鍍膜機(jī)是集多門學(xué)科一體的精密儀器,尤其在機(jī)電技術(shù)的應(yīng)用方面,甚為廣泛,所以,機(jī)電一體化技術(shù)是真空技術(shù)的基礎(chǔ)。鍍膜設(shè)備的進(jìn)步與發(fā)展也充分體現(xiàn)了機(jī)電技術(shù)的價(jià)值。
“
真空
”
一詞來自希臘語,原本是虛無的意思,人類對(duì)真空的研究和應(yīng)用由來已久,對(duì)它并不陌生。到今天,真空技術(shù)作為一門應(yīng)用科學(xué),與人類的生活已經(jīng)密不可分。
zui初人們?yōu)榱双@得真空,做了大量試驗(yàn),比如zui的
“
馬德堡半球試驗(yàn)
”
,人類還發(fā)明了抽氣泵,用來對(duì)密閉的容器進(jìn)行抽氣,以求獲得真空,隨著人類對(duì)真空技術(shù)的研究與不斷探索,同事也發(fā)明了測(cè)量真空的諸多方式,時(shí)至今日,真空技術(shù)已經(jīng)廣泛應(yīng)用于工業(yè),軍事,農(nóng)業(yè),科研、半導(dǎo)體、顯示技術(shù)等,真空技術(shù)的發(fā)展與應(yīng)用,大大促進(jìn)了生產(chǎn)力的發(fā)展。
現(xiàn)在,人類已經(jīng)能通過特制的容器獲得超高真空,同時(shí),制作了各種儀表測(cè)量真空度,不僅如此,還制作各種設(shè)備,比如:真空鍍膜機(jī)器,就是應(yīng)用zui廣泛的儀器。
鍍膜機(jī)按照其應(yīng)用領(lǐng)域的不同可以分為電子槍熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)、磁控濺射鍍膜機(jī)、等離子鍍膜機(jī)、射頻鍍膜機(jī)等,但是他們的結(jié)構(gòu)都一樣,以光學(xué)鍍膜機(jī)為例,主要有三大部分組成:真空主體
——
真空腔,輔助排氣系統(tǒng)(包括排氣系統(tǒng)、真空測(cè)量系統(tǒng))、蒸發(fā)系統(tǒng)(包括坩堝及回轉(zhuǎn)控制系統(tǒng)、電子槍柜)、成膜控制系統(tǒng)。
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