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壓力測量中,除極少數(shù)直接測量外,絕大多數(shù)是間接測量。就是先在被測氣體中引起一定的物理現(xiàn)象,然后再測量這一過程中與壓力有關(guān)的物理量,進(jìn)而設(shè)法確定壓力值。這是真空測量的特點(diǎn),亦會造成某些問題。
1、真空計(jì)(Vacuum gauge)是測量低于一個大氣壓力的氣體或蒸氣壓力的儀器。
2、真空計(jì)是從真空計(jì)本身測得的物理量直接計(jì)算出(或得出)壓力的儀器。
3、相對真空計(jì)則是必須經(jīng)過真空計(jì)的校準(zhǔn)之后才能進(jìn)行真空度的測量。
任何具體物理現(xiàn)象與壓力的關(guān)系,都是在某一壓力范圍內(nèi)才較顯著,超出這個范圍,關(guān)系變得弱了。因此,任何方法都有其一定的測量范圍,這個范圍就是真空計(jì)的“量程”。盡可能擴(kuò)展每一種方法的量程,是真空科學(xué)研究的重要內(nèi)容之一。近代真空技術(shù)所涉及到的壓力范圍寬達(dá)19個數(shù)級(105~10-14 Pa),沒有任何一種真空計(jì)能測量如此寬的壓力范圍,因此總是用幾種真空計(jì)分別管轄一定的區(qū)域。但由于各種真空計(jì)在原理上的差異.在相互銜接的區(qū)域,往往要造成較大的誤差。由上觀之,為改善真空計(jì)性能及提高真空測量準(zhǔn)確度,必須突出主要現(xiàn)象,抑制寄生現(xiàn)象。表1給出一些真空計(jì)的壓力測量范圍。
在較高壓力時(105~1Pa)利用壓力差U型管壓力計(jì),麥克勞真空計(jì),薄膜計(jì),彈簧管壓力計(jì)等。 在103~10-2 Pa的中間壓力范圍,利用氣體性質(zhì)(熱傳導(dǎo),粘性)的變化而做成的皮氏計(jì)、粘性真空計(jì)。在低壓力時,使用將氣體分子電離而測量的電離真空計(jì)。