2019年9月4-7日深圳會(huì)展中心 9G12展位英?？?INFICON特別邀請(qǐng)您參觀CIOE中國(guó)光博會(huì)領(lǐng)略創(chuàng)新真空技術(shù)在鍍膜行業(yè)中的應(yīng)用

在光學(xué)行業(yè)，真空鍍膜應(yīng)用廣泛，更的測(cè)量和精密的控制也已成了必需的要求。已在真空鍍膜領(lǐng)域潛心鉆研多年的英?？担粩嗤顿Y新的技術(shù)和功能，還可為真空鍍膜行業(yè)提供包括氣體分析儀器、真空計(jì)、真空元件和氦氣檢漏儀等在內(nèi)的完整產(chǎn)品系列和解決方案。

在本次光博會(huì)上，英?？狄矊yIC6 薄膜沉積控制器、Transpector® MPH 殘余氣體分析儀、LINXON®LX218 氦氣和氫氣檢漏儀、真空計(jì)等一系列高精度，高性能的真空儀器設(shè)備，為參展觀眾們帶來(lái)一場(chǎng)精彩的技術(shù)盛宴。

IC6 薄膜沉積控制器

IC6 薄膜沉積控制器在 INFICON 薄膜沉積控制器可靠成熟的性能基礎(chǔ)上，增添了更多*的功能，可幫助您實(shí)現(xiàn)沉積過(guò)程的大價(jià)值。IC6 使用我們的 ModeLock 頻率測(cè)量系統(tǒng)，提供穩(wěn)定、高分辨率的速率和厚度測(cè)量，速率分辨率可達(dá)每 1/10 秒 0.00433 Å/s。IC6 具有其他石英晶體控制器*的性能、品質(zhì)和功能，賦予您的過(guò)程的可重復(fù)性。

Transpector® CPM 3 緊湊型過(guò)程監(jiān)控器

十多年來(lái)，INFICON Transpector® CPM 一直是半導(dǎo)體行業(yè)市場(chǎng)的殘余氣體分析儀 (RGA) 過(guò)程監(jiān)測(cè)系統(tǒng)。現(xiàn)在，Transpector® CPM 3 通過(guò)集成經(jīng)實(shí)踐驗(yàn)證的泵送和進(jìn)口系統(tǒng)與新型傳感器和電子元件，達(dá)到業(yè)內(nèi)的測(cè)量速度和靈敏度。Transpector® CPM 3 是新型和現(xiàn)有半導(dǎo)體過(guò)程（例如，ALD、CVD、PVD 和蝕刻）的理想 RGA 過(guò)程監(jiān)控器。

2019年9月4-7日

深圳會(huì)展中心 9G12展位

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