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號(hào)外:INFICON推出的RGA新產(chǎn)品

更新時(shí)間:2020-04-02      點(diǎn)擊次數(shù):1436

LINXON 是真空儀器的全新*品牌, 由真空行業(yè)創(chuàng)新儀器的供應(yīng)者 INFICON 設(shè)計(jì)和制造。LINXON myRGA  四極質(zhì)譜儀以的高性價(jià)比提供高性能設(shè)備, 通過精選的本地合作伙伴(科銳詩?。╀N售, 并可以通過視頻教程對(duì)常見問題進(jìn)行解答, 滿足普通真空和科研市場的生產(chǎn)、研發(fā)、集成和支持的需求。

    

LINXON myRGA優(yōu)勢

  1. 可靠的殘余氣體分析儀,以非常優(yōu)惠的價(jià)格提供空氣泄漏和污染檢測所需的性能。
  2. 使用 myRGA, 無需安裝軟件。 該儀器由集成的機(jī)載網(wǎng)頁服務(wù)器,通過網(wǎng)頁瀏覽器操作, *獨(dú)立于您的操作系統(tǒng)。通過 PC, 平板電腦或智能手機(jī)訪問 myRGA的機(jī)載網(wǎng)頁,服務(wù)器可動(dòng)態(tài)適應(yīng)您的屏幕尺寸和分辨率. 如您愿意使用 LabVIEW 軟件操作 LINXON myRGA, 隨機(jī)附有 LabVIEW 軟件開發(fā)套件. 使用提供的 LabVIEW 驅(qū)動(dòng)程序示例來定制軟件,滿足您的需求。
  3. 軟件可提供中英文雙語種,為英文或中文不佳的用戶提供多種選擇。
  4. 適用于多種細(xì)分行業(yè),例如:真空鍍膜行業(yè)。

與使用哪種 PVD 類型的過程 (EB-PVD, IB-PVD, 或標(biāo)準(zhǔn) PVD) 無關(guān), LINXON myRGA 均可提供與任何其他監(jiān)測方法不同的系統(tǒng)視圖。無論是監(jiān)測工藝室是否漏氣, 還是監(jiān)測氣體管線是否被污染,如果您需要找出工藝室未 達(dá)到基本真空的原因, 可使用內(nèi)置的檢漏功能有效地查找泄漏所在。

熱處理,任何低壓熱處理應(yīng)用都可受益于使用 LINXON myRGA。如對(duì)某特定氣體是否與所用的金屬發(fā)生相互作用有疑問,  myRGA 可監(jiān)測其質(zhì)量數(shù), 并顯示其存在和相對(duì)含量。 myRGA 還可用于實(shí)時(shí)泄漏監(jiān)測或在基本壓強(qiáng)下的手動(dòng)檢漏。

  1. 新型通道式電子倍增器,延長使用壽命, 提供比法拉第杯 (FC) 高的靈敏度和高的增益。新傳感器設(shè)計(jì)提供了可現(xiàn)場更換電子倍增器 (EM) (如配備) 的附加好處. 在定期的維護(hù)日程內(nèi)可現(xiàn)場快速更換 EM。
  2. 用于 myRGA 傳感器的現(xiàn)代化離子源設(shè)計(jì)將兩根燈絲集成在陽極, 陰極和反射極的組裝件中,雙燈絲設(shè)計(jì)中包含一根可使 RGA 具有大上線時(shí)間的備用燈絲。使用 myRGA, 還可獲得特定應(yīng)用的燈絲選擇 (鎢絲用于含鹵素的過程或涂敷氧化釔的銥燈絲用于含氧的過程), 增加燈絲的壽命. 更換 myRGA 中的燈絲套件相當(dāng)于更換傳統(tǒng) RGA的整個(gè)離子源, 節(jié)約成本, 從而大大地降低總體擁有成本。

    例如:UHV 電子束成長市場,工藝制程監(jiān)控及污染物的探測, RGA 是*的,其成長過程可持續(xù) 9 個(gè)月或更長,在真空狀態(tài)下不能因?yàn)闊艚z損壞而中斷真空,采用LINXON myRGA可以很好地解決這個(gè)問題。

  1. LINXON myRGA的另一個(gè)關(guān)鍵特征是能夠在與質(zhì)譜儀并行運(yùn)行的同時(shí)測量總壓強(qiáng). 這個(gè)壓強(qiáng)測量 可用于燈絲的保護(hù)。
  2. 新型饋入件結(jié)構(gòu)便于連接電子單元控制器。
  3. TCP/IP 以太網(wǎng)連接,可通過以太網(wǎng)現(xiàn)場固件升級(jí)?;诨ヂ?lián)網(wǎng)瀏覽器平臺(tái)可觀察多個(gè)屏幕 ,例如在UHV 加速器/對(duì)撞機(jī)市場,可以很方便地實(shí)現(xiàn)監(jiān)測、檢漏、診斷、調(diào)諧等功能。
  4. 高速數(shù)據(jù)收集為好的統(tǒng)計(jì)學(xué)的制程控制 (SPC) AEC/APC給出更多的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)?,F(xiàn)代化的電子單元,具有超快數(shù)據(jù)收集 1 毫秒測量時(shí)間,意味著在工藝制程中關(guān)鍵點(diǎn)收集更多的數(shù)據(jù)點(diǎn),提高數(shù)據(jù)分辨率用于真空閥件的檢漏, 當(dāng)需要時(shí)給出更多的數(shù)據(jù)點(diǎn)。

深圳市科銳詩汀科技有限公司可以為有需要的客戶提供軟件定制服務(wù),滿足您提升設(shè)備個(gè)性化的需求。

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