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詳細(xì)介紹MKS1179A質(zhì)量流量計(jì)的性能參數(shù)

更新時(shí)間:2020-09-21      點(diǎn)擊次數(shù):1496
MKS1179A質(zhì)量流量計(jì)的技術(shù)參數(shù):
 
1179A是一種通用型彈性密封的質(zhì)量流量控制器,可在多種應(yīng)用場(chǎng)合測(cè)量和控制氣體的流量,特別是可重復(fù)性要求高的場(chǎng)合。配上合適的壓力控制器,它還可以作為壓力控制器使用。參數(shù)如下:
 
控制量程:2% to 的全量程。
測(cè)量精度:全量程的1%
靈 敏 度 :全量程的0.1%
熱機(jī)時(shí)間:小于2Min.
響應(yīng)速度:小于2Sec.
輸入電壓:±15VDC@100ma
輸出電壓:0-5VDC
連 接 器 :模擬: 9Pin或15Pin或20Pin Card edge.
             數(shù)字:RS485或Device net或Profibus
法蘭接口:Swagelok 4VCR,Swagelok4 VCO,Swage 1/4”等
材      質(zhì):316 不銹鋼。
全 量 程 :10SCCM,20SCCM,50SCCM,100SCCM,200SCCM,500SCCM,1000SCCM,2000SCCM,5000SCCM,10000SCCM,20000SCCM。
0755-26028990
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