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英??禋堄鄽怏w分析儀的功能特點介紹

更新時間:2022-12-30      點擊次數(shù):733
  英??禋堄鄽怏w分析儀是可靠的殘余氣體分析儀(RGA),擁有為氣體分析,檢漏和污染檢測所需的高性能和低價格.這種簡單易用的RGA具有業(yè)界的非常小的可檢測分壓強(MDPP),信噪比和數(shù)據(jù)收集速度.該氣體分析儀提供了低總體擁有成本和高平均故障間隔時間(MTBFs)的經(jīng)濟而有效的解決方案。
  
  英??禋堄鄽怏w分析儀的功能:
  
  1.應(yīng)用于ALD、蝕刻、CVD,對殘余氣體進行過程監(jiān)測和分析
  
  2.測量速度為每點1.8ms(每秒555點)
  
  3.在大多數(shù)苛刻CVD和蝕刻應(yīng)用中,展現(xiàn)出經(jīng)實踐驗證的耐久性和可靠性
  
  4.應(yīng)用集成—TranspectorCPM集成FabGuard軟件,由INFICON提供支持,是一款強大的過程監(jiān)測與診斷工具
  
  5.緊湊尺寸—允許輕松集成到半導體生產(chǎn)設(shè)備
  
  6.Hexblock™含三個壓力進口并減少表面積,以小化表面反應(yīng)時間和響應(yīng)時間
  
  7.電容隔膜計(CDG)—CDG允許用戶監(jiān)測過程壓力,并自動保護系統(tǒng)不出現(xiàn)壓力偏移
  
  8.自動校準—確保長期數(shù)據(jù)穩(wěn)定性和精度,以便進行各傳感器和工具的腔室匹配
  
  英??禋堄鄽怏w分析儀用于myRGA傳感器的現(xiàn)代化離子源設(shè)計將兩根燈絲集成在陽極,陰極和反射極的組裝件中.雙燈絲設(shè)計中包含一根可使RGA具有較大上線時間的備用燈絲.使用myRGA,還可獲得特定應(yīng)用的燈絲選擇(鎢絲用于含鹵素的過程或涂敷氧化釔的銥燈絲用于含氧的過程),確保過程本身不會縮短燈絲的壽命.更換myRGA中的燈絲套件相當于更換傳統(tǒng)RGAs的整個離子源,節(jié)約成本,從而大大地降低總體擁有成本.
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