氦質譜檢漏儀（HeliumMassSpectrometerLeakDetector）為氣體工業(yè)名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調整到僅對氦氣反應的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。
氦質譜檢漏儀的特點：
1、質譜檢測儀的測量精度高，漏失量可以檢測到0.1ppm，檢測靈敏度高；
2、可測量各種有毒、無毒、稀有氣體，如氦氣、氫氣和氬氣等；
3、質譜檢測儀的檢測效率高，可以在短時間內完成檢測；
4、質譜檢測儀的檢測成本低，檢測費用低廉，可以實現(xiàn)高效檢測；
5、質譜檢測儀的檢測環(huán)境要求低，能夠在常溫常壓下進行檢測；
6、質譜檢測儀的操作簡單，一般人都能夠掌握操作方法，而且操作方便快捷；
7、質譜檢測儀的維修保養(yǎng)簡單，只需要定期更換部件，就可以保持其良好的檢測性能。
氦質譜檢漏技術是真空檢漏領域里*一種技術，由于檢漏效率高，簡便易操作，儀器反應靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應用。氦質譜檢漏儀是根據(jù)質譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子，在室內來回地振蕩，并與室內氣體和經(jīng)漏孔進人室內的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進人磁場，由于洛倫茲力作用產生偏轉，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。噴氦法、吸氦法是氦質譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。
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