氦質(zhì)譜檢漏儀(HeliumMassSpectrometerLeakDetector)為氣體工業(yè)名詞術(shù)語,用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低,分子量及粘滯系數(shù)小,因而易通過漏孔并易擴(kuò)散;另外,氦系惰性氣體,不腐蝕設(shè)備,故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到僅對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上,若容器有漏孔,則分析儀即有所反應(yīng),從而可知漏孔所在及漏氣量大小。
氦質(zhì)譜檢漏儀的特點(diǎn):
1、質(zhì)譜檢測儀的測量精度高,漏失量可以檢測到0.1ppm,檢測靈敏度高;
2、可測量各種有毒、無毒、稀有氣體,如氦氣、氫氣和氬氣等;
3、質(zhì)譜檢測儀的檢測效率高,可以在短時間內(nèi)完成檢測;
4、質(zhì)譜檢測儀的檢測成本低,檢測費(fèi)用低廉,可以實(shí)現(xiàn)高效檢測;
5、質(zhì)譜檢測儀的檢測環(huán)境要求低,能夠在常溫常壓下進(jìn)行檢測;
6、質(zhì)譜檢測儀的操作簡單,一般人都能夠掌握操作方法,而且操作方便快捷;
7、質(zhì)譜檢測儀的維修保養(yǎng)簡單,只需要定期更換部件,就可以保持其良好的檢測性能。
氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里*一種技術(shù),由于檢漏效率高,簡便易操作,儀器反應(yīng)靈敏,精度高,不易受其他氣體的干擾,在電阻爐檢漏中得到了廣泛應(yīng)用。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子,在室內(nèi)來回地振蕩,并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些氦離子在加速電場作用下進(jìn)人磁場,由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn),形成圓弧形軌道,改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達(dá)接收極而被檢測。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。