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INFICON半導(dǎo)體傳感器采用了一系列過程傳感技術(shù),包括殘余氣體分析、光發(fā)射光譜測量法、石英晶體微天平(膜厚儀)、檢漏儀、壓力計和射頻測量。
隨著半導(dǎo)體技術(shù)不斷進步,市場對芯片的需求不斷增加,弄清楚氣體和等離子體如何與周圍環(huán)境相互作用比以往任何時候都更加重要。無論是在加工過程中進行測量以確保產(chǎn)品安全和質(zhì)量,還是在腔室清潔或工具維護過程中進行測量以盡量減少停機時間,或者監(jiān)測減排系統(tǒng)以減少溫室氣體的排放,INFICON都是您不錯的選擇。INFICON提供各種類型的傳感器,您可以根據(jù)具體應(yīng)用場景進行定制。
INFICON傳感器適用于全半導(dǎo)體制造周期。通過準(zhǔn)確測量氣體成分,支持早期階段的研究和開發(fā)、前段制程/后段制程生產(chǎn),以及subfab和全廠范圍內(nèi)的設(shè)施性能。應(yīng)用范圍涵蓋后端潔凈室模具分揀和組裝,從而提高過程控制效率和生產(chǎn)力,實現(xiàn)高質(zhì)量、可靠制造,以及最大生產(chǎn)力和高效率的運行。
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本公司專業(yè)代理:1、英福康(Inficon)真空計、檢漏儀、四極質(zhì)譜儀(RGA)、晶控、晶振片;2、LINXON的四極質(zhì)譜儀(myRGA)、檢漏儀(LX218);3、中國臺灣日揚的真空蝶閥、角閥、翻板閥、插板閥、定制真空腔體、真空管件;4、安捷倫真空泵、分子泵;5、瑞士福特林(Vogtlin)的流量計。若有需求,請及時聯(lián)絡(luò),謝謝!