INFICON半導(dǎo)體傳感器采用了一系列過(guò)程傳感技術(shù)，包括殘余氣體分析、光發(fā)射光譜測(cè)量法、石英晶體微天平（膜厚儀）、檢漏儀、壓力計(jì)和射頻測(cè)量。

隨著半導(dǎo)體技術(shù)不斷進(jìn)步，市場(chǎng)對(duì)芯片的需求不斷增加，弄清楚氣體和等離子體如何與周圍環(huán)境相互作用比以往任何時(shí)候都更加重要。無(wú)論是在加工過(guò)程中進(jìn)行測(cè)量以確保產(chǎn)品安全和質(zhì)量，還是在腔室清潔或工具維護(hù)過(guò)程中進(jìn)行測(cè)量以盡量減少停機(jī)時(shí)間，或者監(jiān)測(cè)減排系統(tǒng)以減少溫室氣體的排放，INFICON都是您不錯(cuò)的選擇。INFICON提供各種類型的傳感器，您可以根據(jù)具體應(yīng)用場(chǎng)景進(jìn)行定制。

INFICON傳感器適用于全半導(dǎo)體制造周期。通過(guò)準(zhǔn)確測(cè)量氣體成分，支持早期階段的研究和開(kāi)發(fā)、前段制程/后段制程生產(chǎn)，以及subfab和全廠范圍內(nèi)的設(shè)施性能。應(yīng)用范圍涵蓋后端潔凈室模具分揀和組裝，從而提高過(guò)程控制效率和生產(chǎn)力，實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量、可靠制造，以及最大生產(chǎn)力和高效率的運(yùn)行。

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