真空系統(tǒng)是什么？

   半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是實(shí)現(xiàn)中國“智"造和“自"造永遠(yuǎn)繞不開的熱門話題，作為現(xiàn)代高科技產(chǎn)業(yè)的重要組成部分，其制造過程中涉及到許多高度精密的工藝和技術(shù)，其中真空系統(tǒng)作為半導(dǎo)體制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)之一，發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。
    在常溫和常壓下，環(huán)境中包含著大量不純凈的物質(zhì)，在半導(dǎo)體制造過程中，芯片容易受到氧化和污染，嚴(yán)重影響芯片品質(zhì)和生產(chǎn)效率。所以半導(dǎo)體的生產(chǎn)需要在高真空環(huán)境下進(jìn)行。而我們把能夠精確控制真空環(huán)境來進(jìn)行半導(dǎo)體材料及器件的加工與處理的系統(tǒng)，稱為半導(dǎo)體的“真空系統(tǒng)"。

    半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的真空系統(tǒng)主要由真空零部件構(gòu)成，它主要包括以下部分：

  1真空腔體：用于容納待加工的半導(dǎo)體材料或器件。

  2真空泵：用于創(chuàng)建和維持高真空環(huán)境的泵，如離心泵、擴(kuò)散泵、吸附泵等。

  3真空閥門：用于控制氣體流動(dòng)和隔離不同的真空室或部件。發(fā)揮著開閉、控制流量/流向、調(diào)節(jié)壓力等作用。

  4 真空密封件：用于連接不同的真空室和管道，并確保系統(tǒng)的密封性能。例如真空法蘭、橡膠圈、波紋管等。

  5壓力計(jì)和真空規(guī)：用于監(jiān)測和控制系統(tǒng)內(nèi)部的真空壓力。

  6觀測窗口：用于在不破壞真空環(huán)境的情況下觀察系統(tǒng)內(nèi)部的部件和工藝過程。

   真空系統(tǒng)的作用：

   1.提供高度穩(wěn)定和潔凈的加工環(huán)境，去除顆粒、不需要的氣體、水汽和沾污物，有助于減少雜質(zhì)對半導(dǎo)體材料的污染。

   2.通過控制氣壓和氣體成分，實(shí)現(xiàn)對半導(dǎo)體器件生長、制備和加工過程的精確控制，例如沉積、腐蝕、清洗等工藝步驟。