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高效、精確、簡便的泄漏檢測，不僅歸功于高性能的檢測儀器，還離不開儀器所配置的各種智能工具。今天，官微君就將用一篇文章，為您講清楚英?？的切?yīng)用于氦氣檢漏操作，懂儀器、更懂你的實(shí)用工具們。
SMART-Spray氦氣噴槍
—— 智慧型全能幫手
SMART-Spray是英?？祵閁L系列檢漏儀設(shè)計的便攜式、無線、無管氦氣噴槍，有了它，氦氣泄漏檢測時使用軟管搬運(yùn)超大氦氣瓶和反復(fù)手動調(diào)節(jié)噴霧量的操作都將成為過去。
單次充裝氦氣，可噴氦超過1000次的SMART-Spray，不僅簡化了檢測流程，提高了檢測效率，還能夠通過精確定位檢查點(diǎn)所需的氣體流量大大節(jié)省氦氣用量和檢測成本。
此外，其內(nèi)配備的彩色照明顯示屏，尤其適用于極限泄漏率小于 1 x 10-9 mbar x l/s的環(huán)境，或是有著許多測試點(diǎn)和潛在泄漏的復(fù)雜半導(dǎo)體的泄漏測試，讓檢漏操作更加靈活與簡便。
I·BOOST信號處理濾波器
—— 提速技能滿分
依靠軟件更新后的I·BOOST信號處理濾波器，英?？悼赏ㄟ^加速泄漏率信號、縮短噴涂間隔時間，來幫助用戶顯著提升測試效率，尤其適用于UL3000 Fab 和 UL6000 Fab 系列。
更值得一提的是，I·BOOST的優(yōu)勢在復(fù)雜的半導(dǎo)體系統(tǒng)檢漏應(yīng)用中尤為突出。“極限泄漏率越低，測試周期通常就越長，而這正是 I·BOOST 的高靈敏度和省時。"英?？悼偛慨a(chǎn)品經(jīng)理馬庫斯-施萬貝拉介紹說。
SPRAY-Check參考漏孔
—— 不放過一處泄漏
SPRAY-Check是一種易于安裝的參考漏孔，其以石英窗為基礎(chǔ)，只對氦氣和氫氣等輕氣體有滲透性。使用其輔助泄漏檢測，不僅提高了安全性，還擴(kuò)展了檢測的功能，例如可在相關(guān)泄漏率范圍內(nèi)檢查測量設(shè)置和測試方案，或是將其直接連接到生產(chǎn)系統(tǒng)中進(jìn)行死區(qū)時間檢查等。
“在使用氦氣進(jìn)行泄漏檢測時，從噴射氣體到檢漏儀顯示屏出現(xiàn)指示一般會有一段時間的間隔，用戶可通過估算該時間，來明確劃分出潛在的泄漏點(diǎn)。例如，若死鎖時間過后顯示屏沒有任何指示，則說明沒有泄漏。"馬庫斯-施萬貝拉進(jìn)一步解釋說，“由于SPRAY-Check不受對工藝有害的氣體（如水或氧氣）的影響，因此它也可以安裝在半導(dǎo)體系統(tǒng)中，或應(yīng)用于極限泄漏率低于 10-9 mbar x l/s 的系統(tǒng)中。"
適配英?？礥L系列檢漏儀，
助力提升半導(dǎo)體生產(chǎn)效率與品質(zhì)
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