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HTC真空閥
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中國臺灣日揚APC蝶閥的功能通常是阻絕或是調(diào)節(jié)流量, 其關(guān)閉的機構(gòu)主要為一個圓型片, 操作的方式和真空球閥很類似, 可以快速的開啟或關(guān)閉, 蝶閥受到歡迎的主要原因是重量比較輕, 就不需要太多的支撐。
真空傳輸閥是采用了直連驅(qū)動技術(shù)的真空閥,外形尺寸小,設(shè)計緊湊,所有動件皆位于大氣側(cè)因而與真空側(cè)隔絕,可減少粉塵產(chǎn)生,并提升產(chǎn)品的使用壽命。另外還有無氣壓時的封合自鎖保護(hù),封板快速拆裝設(shè)計易維修等優(yōu)點。
真空矩形閥廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電產(chǎn)業(yè)之鍍膜設(shè)備,安裝于生產(chǎn)線與過渡腔室(load-lock chamber),過渡腔室(load-lock chamber)與傳輸系統(tǒng)(handling system),傳輸系統(tǒng)(handling system)與制程腔室(process chamber)等需要真空與壓力分隔的地方。
HTC真空蝶閥的功能通常是阻絕或是調(diào)節(jié)流量, 其關(guān)閉的機構(gòu)主要為一個圓型片, 操作的方式和真空球閥很類似, 可以快速的開啟或關(guān)閉, 蝶閥受到歡迎的主要原因是重量比較輕, 就不需要太多的支撐。
APC蝶閥主要應(yīng)用: 真空壓力控制和隔離閥門 應(yīng)用產(chǎn)業(yè) SEMI - 半導(dǎo)體 FPD - 光電面板 PVD - 物理氣相沉積 Solar - 太陽能
真空鐘擺閥動閥連接了傳感器,讓控制器可以讓閥門打開,關(guān)閉或到第三個位置,提供更好的設(shè)定點精確度和可重複性控制功能。
TEL:0755-26028990