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TG220F型/TG350F型/TG450F型復(fù)合分子泵

簡要描述:TG220F型/TG350F型/TG450F型復(fù)合分子泵*安裝;小型;節(jié)能;迅速啟動;可迅速停止排氣;耐大氣沖擊能力強;多種通信模式*RS232C通信界面標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備;符合安全規(guī)格NRTL/SEMI-S2/CE
*輔助泵的容量是160L/min情況下的容許大流量

  • 產(chǎn)品型號:TG220F/350F/450F
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時間:2024-12-17
  • 訪  問  量:4021
  • 產(chǎn)品資料:

詳細(xì)介紹

品牌其他品牌性能其他
產(chǎn)地進(jìn)口加工定制

*安裝型復(fù)合分子泵的優(yōu)點

排氣范圍廣:低真空到超高真空的寬廣范圍內(nèi)排氣

大流量排氣:可排大流量的氣體

迅速啟動:啟動快,可縮短待機時間

耐振動耐沖擊:經(jīng)得住壓力的急速上升,耐大氣沖擊能力強;且適用于受外部震動影響的使用環(huán)境

*的耐久性:通過適當(dāng)?shù)木S修可長期使用(泵的壽命達(dá)到10萬小時以上)

用途:半導(dǎo)體;FPD(LCD,PDP,有機EL,FED,其他)制造;各種電子部件的制造;管球制造,光學(xué)部件(鏡片,光學(xué)過濾器等)制造;尤其適用于移動式的排氣裝置;電子槍排氣,離子源排氣,熱處理;表面處理,表面改質(zhì);分析,試驗裝置;加速器,放射光設(shè)備,核聚變研究;研究開發(fā)用

TG220F型/TG350F型/TG450F型復(fù)合分子泵
*安裝;小型;節(jié)能;迅速啟動;可迅速停止排氣;耐大氣沖擊能力強;多種通信模式*RS232C通信界面標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備;符合安全規(guī)格NRTL/SEMI-S2/CE

TG220F型:

TG220F型/TG350F型/TG450F型復(fù)合分子泵TG220F型/TG350F型/TG450F型復(fù)合分子泵

TG220F型/TG350F型/TG450F型復(fù)合分子泵TG350F型:

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TG220F型/TG350F型/TG450F型復(fù)合分子泵*輔助泵的容量是160L/min情況下的容許大流量

使用環(huán)境溫度:極限壓力的保證環(huán)境溫度是10-23度、空冷狀態(tài)下的容許環(huán)境溫度是10-32度,水冷狀態(tài)時是10-40度。極限壓力保證冷卻水溫在30度以下時容許冷卻水溫是10-35度
對應(yīng)氣體種類:根據(jù)抽吸氣體種類,軸承潤滑脂或內(nèi)部部件會受損。有關(guān)對應(yīng)的氣體種類請咨詢
標(biāo)準(zhǔn)組合:泵+電源+電機電纜(3m)+風(fēng)扇電纜(3m,于空冷型)
特殊附屬品(另行購買):(烘烤用)吸氣口電熱帶,自動慢排閥,氣體吹掃接口,精密針型閥,配管部件。




































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