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干式氦氣檢漏儀

簡要描述:INFICON 氦氣檢漏儀 UL3000 Fab (PLUS) 設(shè)計用于滿足半導(dǎo)體應(yīng)用中的泄漏檢測要求。
此款檢漏儀具有靈活性、可移動性、高靈敏度和可靠性,能夠快速啟動并提供快速精確的測量結(jié)果。

  • 產(chǎn)品型號:UL3000 Fab (PLUS)
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時間:2024-12-20
  • 訪  問  量:1582
  • 產(chǎn)品資料:查看pdf文檔

詳細(xì)介紹

品牌Inficon/英福康產(chǎn)地進(jìn)口
加工定制

干式氦氣檢漏儀 UL3000 Fab (PLUS)

氦氣真空檢漏儀(干式)

和 UL3000 Fab 移動式氦氣檢漏儀

超測試™傳感器 技術(shù)

專為滿足半導(dǎo)體應(yīng)用中的泄漏檢查需求而設(shè)計。

它具有靈活性、移動性、快速啟動、高靈敏度、快速精確的測試結(jié)果和可靠性。

UL3000 FAB ULTRA 型號的突出優(yōu)勢

由于更高的空氣泵送速度,抽空(抽真空)時間更快。

由于羅茨粗加工泵的維護(hù)成本低,總擁有成本 (TCO) 更低。

作為 HYDRO·S 軟件消除了水蒸氣背景,可以快速達(dá)到敏感的測量范圍

UL3000 Fab ULTRA 還通過使用久經(jīng)考驗(yàn)的嗅探器系列 SL3000(長度可達(dá) 10 米)提高了嗅探器功能。SL3000具有單獨(dú)的連接端口,因此無需連接到真空入口。

兩種型號均具有

快速獲得結(jié)果

改進(jìn)的真空系統(tǒng)具有低維護(hù)真空泵,可以從大氣壓開始檢測泄漏。堅固耐用的質(zhì)譜儀系統(tǒng)可確保較長的運(yùn)行時間和較低的維護(hù)成本。

可旋轉(zhuǎn)顯示屏和遠(yuǎn)程可控用戶界面

新的觸摸屏顯示器甚至可以從很遠(yuǎn)的距離顯示測試結(jié)果和狀態(tài)信息。通過用戶引導(dǎo)的菜單結(jié)構(gòu)輕松操作,即使對于沒有經(jīng)驗(yàn)的操作員也是如此。UL3000 Fab (ULTRA) 可通過智能手機(jī)或平板電腦進(jìn)行無線控制 - 無需特殊軟件或應(yīng)用程序。通過按鈕記錄和存儲測試結(jié)果可以傳輸?shù)狡渌鎯橘|(zhì)進(jìn)行進(jìn)一步分析。

超薄設(shè)計,具有可操作性

UL3000 Fab (ULTRA) 的重心低、車輪大、符合人體工程學(xué)設(shè)計的手柄和纖薄的外殼,即使在狹小的空間內(nèi)也能實(shí)現(xiàn) UL3000 Fab (ULTRA) 的良好移動性。

好處

  • 利用 I·CAL 軟件算法節(jié)省時間,可在 10-9 至 10-12 mbar·l/s 的范圍內(nèi)進(jìn)行快速測量

  • 使用I·ZERO 2.0進(jìn)行zuigaoxiao的泄漏檢查,具有改進(jìn)的智能功能,可在保持高測量靈敏度的同時實(shí)現(xiàn)快速背景抑制

  • 適用于真空和嗅探器泄漏搜索

  • 通過快速疏散和響應(yīng)時間最大限度地減少泄漏檢查工作

  • 通過纖薄設(shè)計實(shí)現(xiàn)輕松的可操作性,從而節(jié)省時間

  • 通過強(qiáng)大的離子源(3 年保修)和逆流真空系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)低總擁有成本 (TCO)

  • 易于使用、操作員引導(dǎo)的 HMI,帶全彩色高分辨率可旋轉(zhuǎn)顯示屏

  • UL3000 超超制造:作為 HYDRO·S 軟件消除了水蒸氣背景,可以快速達(dá)到敏感的測量范圍

  • UL3000 Fab ULTRA:由于羅茨泵的空氣泵送速度較高,抽空(抽真空)時間更快

  • UL3000 Fab ULTRA:由于羅茨粗加工泵的維護(hù)成本低,因此降低了總擁有成本(TCO)。

  • UL3000 Fab ULTRA:檢漏儀還通過使用久經(jīng)考驗(yàn)的嗅探器系列 SL3000(長度可達(dá) 10 米)提高了嗅探器功能。SL3000具有單獨(dú)的連接端口,因此無需連接到真空入口。

典型應(yīng)用

  • 半導(dǎo)體晶圓廠

  • 平板顯示器制造

  • 太陽能電池制造

  • 玻璃和卷筒紙(卷對卷)涂層

  • 一般真空鍍膜和應(yīng)用
































































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