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簡要描述:INFICON 氦氣檢漏儀 UL3000 Fab (PLUS) 設(shè)計用于滿足半導體應用中的泄漏檢測要求。此款檢漏儀具有靈活性、可移動性、高靈敏度和可靠性,能夠快速啟動并提供快速精確的測量結(jié)果。
產(chǎn)品分類
詳細介紹
品牌 | Inficon/英福康 | 產(chǎn)地 | 進口 |
---|---|---|---|
加工定制 | 否 |
干式氦氣檢漏儀 UL3000 Fab (PLUS)
氦氣真空檢漏儀(干式)
超測試™傳感器 技術(shù)
專為滿足半導體應用中的泄漏檢查需求而設(shè)計。
它具有靈活性、移動性、快速啟動、高靈敏度、快速精確的測試結(jié)果和可靠性。
UL3000 FAB ULTRA 型號的突出優(yōu)勢
由于更高的空氣泵送速度,抽空(抽真空)時間更快。
由于羅茨粗加工泵的維護成本低,總擁有成本 (TCO) 更低。
作為 HYDRO·S 軟件消除了水蒸氣背景,可以快速達到敏感的測量范圍
UL3000 Fab ULTRA 還通過使用久經(jīng)考驗的嗅探器系列 SL3000(長度可達 10 米)提高了嗅探器功能。SL3000具有單獨的連接端口,因此無需連接到真空入口。
兩種型號均具有
快速獲得結(jié)果
改進的真空系統(tǒng)具有低維護真空泵,可以從大氣壓開始檢測泄漏。堅固耐用的質(zhì)譜儀系統(tǒng)可確保較長的運行時間和較低的維護成本。
可旋轉(zhuǎn)顯示屏和遠程可控用戶界面
新的觸摸屏顯示器甚至可以從很遠的距離顯示測試結(jié)果和狀態(tài)信息。通過用戶引導的菜單結(jié)構(gòu)輕松操作,即使對于沒有經(jīng)驗的操作員也是如此。UL3000 Fab (ULTRA) 可通過智能手機或平板電腦進行無線控制 - 無需特殊軟件或應用程序。通過按鈕記錄和存儲測試結(jié)果可以傳輸?shù)狡渌鎯橘|(zhì)進行進一步分析。
超薄設(shè)計,具有可操作性
UL3000 Fab (ULTRA) 的重心低、車輪大、符合人體工程學設(shè)計的手柄和纖薄的外殼,即使在狹小的空間內(nèi)也能實現(xiàn) UL3000 Fab (ULTRA) 的良好移動性。
利用 I·CAL 軟件算法節(jié)省時間,可在 10-9 至 10-12 mbar·l/s 的范圍內(nèi)進行快速測量
使用I·ZERO 2.0進行zuigaoxiao的泄漏檢查,具有改進的智能功能,可在保持高測量靈敏度的同時實現(xiàn)快速背景抑制
適用于真空和嗅探器泄漏搜索
通過快速疏散和響應時間最大限度地減少泄漏檢查工作
通過纖薄設(shè)計實現(xiàn)輕松的可操作性,從而節(jié)省時間
通過強大的離子源(3 年保修)和逆流真空系統(tǒng)實現(xiàn)低總擁有成本 (TCO)
易于使用、操作員引導的 HMI,帶全彩色高分辨率可旋轉(zhuǎn)顯示屏
UL3000 超超制造:作為 HYDRO·S 軟件消除了水蒸氣背景,可以快速達到敏感的測量范圍
UL3000 Fab ULTRA:由于羅茨泵的空氣泵送速度較高,抽空(抽真空)時間更快
UL3000 Fab ULTRA:由于羅茨粗加工泵的維護成本低,因此降低了總擁有成本(TCO)。
UL3000 Fab ULTRA:檢漏儀還通過使用久經(jīng)考驗的嗅探器系列 SL3000(長度可達 10 米)提高了嗅探器功能。SL3000具有單獨的連接端口,因此無需連接到真空入口。
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