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四極質(zhì)譜分析儀

簡要描述:INFICON具有發(fā)展創(chuàng)新與可靠的,增長產(chǎn)量的監(jiān)測系統(tǒng)資源,加上應用網(wǎng)絡,需要時可隨時隨地提供專家支持與協(xié)助四極質(zhì)譜分析儀。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時間:2024-12-20
  • 訪  問  量:2000
  • 產(chǎn)品資料:

詳細介紹

品牌Inficon/英福康產(chǎn)地進口
加工定制

CPM INFICON英???strong>四極質(zhì)譜分析儀的性能:

■ 用于監(jiān)測復雜過程的四極氣體分析系統(tǒng).

■ 允許7 天24 小時連續(xù)監(jiān)測,達到zui大的產(chǎn)額和產(chǎn)量, 從而將成本降至zui低.

■ 足夠的小型和性能,可安裝在壓強很高的真空室內(nèi).

■ HexBlock 取樣系統(tǒng)的*性能.

■ 內(nèi)置CDG, 用于過程壓強監(jiān)測和真空聯(lián)鎖.

■ 備有可選的校準參考源, 用于調(diào)諧和氣體參.

■ 封閉的長壽命離子源可在阻擋大多數(shù)腐蝕性和反應性氣體的同時,檢測亞ppm 量級的污染物.

■ 重量輕,易搬運.


用戶*性

INFICON Transpector CPM 的下列性能可在低成本下實現(xiàn)現(xiàn)場早期報警:

■    測量氣相反應;

■    驗證真空的完整性;

■    鑒別痕量污染物;

■    測量過程與本底的組分;

■    定性氣體純度.


CPM 良好的適配性

空間是可貴的,我們的CPM占空間小,可靈活安裝.為對被分析氣體影響zui小和在寬壓強范圍內(nèi)快速提供結(jié)果,我們開發(fā)了多功能的HexBlock 注入口. 為確保zui高的

性能與可靠性, 我們采用已在12,000 臺以上Transpector 2 氣體分析系統(tǒng)上得到驗證的四極傳感器.為適應某些復雜應用,如刻蝕和CVD 中存在腐蝕性*的氣體, 我們采用化學惰性優(yōu)等的316 不銹鋼加工。


CPM INFICON英???/span>四極質(zhì)譜分析儀技術特點

01) 帶EM 的NDPP 在10,000 增益和1-秒停留時間下

02)質(zhì)量數(shù)40 對41amu 的貢獻

03)零blast 對2amu 的貢獻

04)zui小可檢濃度,氪在空氣中在1-秒停留時間下

05)低發(fā)射下的線性,在0.1 至2 倍常規(guī)小孔壓強下

06)使用總壓強規(guī)管在低發(fā)射下的壓強調(diào)值

07)低發(fā)射下的總壓強精度

08)低發(fā)射下離子源zui大工作壓強(燈絲關斷閾值)

09)在封閉型離子源中2E-4 乇,在四極場范圍中將產(chǎn)生約1E-5 乇

10) zui小EM 增益在zui大EM 電壓下








































































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