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真空鐘擺閥

簡要描述:真空鐘擺閥動閥連接了傳感器,讓控制器可以讓閥門打開,關(guān)閉或到第三個位置,提供更好的設(shè)定點精確度和可重複性控制功能。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時間:2024-12-20
  • 訪  問  量:1552
  • 產(chǎn)品資料:

詳細介紹

品牌其他品牌產(chǎn)地進口
加工定制

Htc真空鐘擺閥具有高性能真空壓力控制系統(tǒng),控制節(jié)流擺閥板可做開關(guān)動作,調(diào)整閘板開口大小及調(diào)整壓力(手動), 主要設(shè)計用來取代傳統(tǒng)的線性作動真空閘閥,以更少的移動零件、更少金屬與金屬間的摩擦,就能讓粉塵減少。以Htc日揚真空鐘擺閥的安裝也比傳統(tǒng)的真空閘閥方式只需要更少的空間即能便利安裝。


真空鐘擺閥的應(yīng)用

高科技制程后段壓力控制和隔離閥

應(yīng)用產(chǎn)業(yè)

>> SEMI - 半導(dǎo)體

>> FPD - 光電面板

>> CVD - 化學(xué)氣相沉積

>> Solar - 太陽能

APC鐘擺閥特點

集成整合壓力控制

精確的壓力控制

密實的隔離

反應(yīng)時間快

友善簡易操作使用接口


材質(zhì)

本體

A6061-T6

閥板

A6061-T6

開關(guān)壽命

200,000 cycles

氦氣泄漏率 (一大氣壓壓差)

本體

鋁合金

<1×10-9 mbar .l /sec

本體

鋁合金 ,超硬陽極處理

<1×10-5 mbar .l /sec

烘烤溫度

本體

≤ 120 ℃

驅(qū)動器

≤ 80 ℃

電磁閥

≤ 50 ℃

壓力范圍

鋁合金

1×10-8 mbar to 1.2 bar

鋁合金 ,超硬陽極處理

1×10-6 mbar to 1.2 bar

最大壓差

1.2 bar

開啟前壓差

≤ 5 mbar

壓縮空氣壓力

4 ~ 6 Kg/cm2

開 / 關(guān)時間(秒)

ISO 200

ISO 250

ISO 320

1.2/1.2

1.2/1.2

2.0/2.0

密封圈材質(zhì)

閥板

Viton O-ring 密封圈

閥蓋

Viton O-ring 密封圈

驅(qū)動器

氣動氣缸與手動旋鈕

重量

ISO 200

ISO 250

ISO 320

22Kg

32Kg

52Kg

安裝位置

水平或垂直

選配

a. 其他密封圈材質(zhì)
b. 加熱器













































































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