產(chǎn)品應(yīng)用

Htc真空矩形閥是采用了直連驅(qū)動技術(shù)的真空閥，外形尺寸小，設(shè)計(jì)緊湊，所有動件皆位于大氣側(cè)因而與真空側(cè)隔絕，可減少粉塵產(chǎn)生，并提升產(chǎn)品的使用壽命。另外還有無氣壓時(shí)的封合自鎖保護(hù)，封板快速拆裝設(shè)計(jì)易維修等優(yōu)點(diǎn)。

設(shè)計(jì)原理/特征

l   低振動及低粉塵設(shè)計(jì)(Low vibration and Low particle)

l   利用凸輪機(jī)構(gòu)與彈簧完成封板封合動作。

l   雙氣壓缸、單出力軸驅(qū)動。

l   驅(qū)動軸桿封合頂緊輔助裝置。

l   無氣壓時(shí)的封合自鎖保護(hù)裝置。

l   封板快速拆裝設(shè)計(jì)，方便O-ring維修更換。

l   100 萬周期壽命。

真空矩形閥分類

l   標(biāo)準(zhǔn)型矩形閘閥(Standard Rectangular Transfer valves)

l   標(biāo)準(zhǔn)型矩形門型閘閥(Rectangular doors)

l   大型矩形閘閥(Large rectangular transfer valves)

l   大型矩形門型閘閥(Large rectangular doors)

Body 材質(zhì)

鋁合金或不銹鋼(Aluminum or Stainless)

Body 表面處理

電解拋光 or 鋁硬陽處理(Electrolytic polishing or Hard anodized Aluminum)