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皮拉尼復(fù)合真空計(jì)

簡(jiǎn)要描述:皮拉尼復(fù)合真空計(jì) BPG400 將 Bayard-Alpert 和皮拉尼兩種真空計(jì)的功能融合入單個(gè)緊湊型裝置中,測(cè)量范圍為 5×10-10 mbar至大氣壓(3.8×10-10 Torr 至大氣壓)。多項(xiàng)技術(shù)相結(jié)合降低了安裝、設(shè)置和集成的復(fù)雜性。選擇 BPG400 單一經(jīng)濟(jì)型封裝,在低成本、可重復(fù)的過(guò)程中進(jìn)行基礎(chǔ)壓力測(cè)量。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2024-12-20
  • 訪  問(wèn)  量:1324
  • 產(chǎn)品資料:

詳細(xì)介紹

品牌Inficon/英???/td>產(chǎn)地進(jìn)口
加工定制

INFICON Bayard-Alpert 皮拉尼復(fù)合真空計(jì) BPG400 將 Bayard-Alpert 和皮拉尼兩種真空計(jì)的功能融合入單個(gè)緊湊型裝置中,測(cè)量范圍為 5×10-10 mbar至大氣壓(3.8×10-10 Torr 至大氣壓)。多項(xiàng)技術(shù)相結(jié)合降低了安裝、設(shè)置和集成的復(fù)雜性。選擇 BPG400 單一經(jīng)濟(jì)型封裝,在低成本、可重復(fù)的過(guò)程中進(jìn)行基礎(chǔ)壓力測(cè)量。


好處

從 5 x 10-10 mbar 至大氣氣壓(3.8 x 10-10 Torr 至大氣氣壓)的極其寬泛的測(cè)量范圍

在 10-8 ...10-2 mbar 5% 工藝壓力范圍內(nèi)為表現(xiàn)出優(yōu)秀的重復(fù)性

皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù) Bayard-Alpert 系統(tǒng)在高壓操作下絲極過(guò)早燒毀和過(guò)度污染

長(zhǎng)使用壽命氧化釔銥絲

備有可選的圖形顯示器和現(xiàn)場(chǎng)總線接口

高真空皮拉尼自動(dòng)調(diào)節(jié),減少操作員的干預(yù)

符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

低真空至超高真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制


皮拉尼復(fù)合真空計(jì)典型應(yīng)用

對(duì)半導(dǎo)體過(guò)程和傳輸腔室的壓力測(cè)量

工業(yè)鍍膜

低真空至超高真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制
































































































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