產(chǎn)品中心
當(dāng)前位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > 真空規(guī)管及顯示儀表 > 瑞士INFICON真空計 > 英??祻?fù)合真空計
簡要描述:英??祻?fù)合真空計多項技術(shù)相結(jié)合降低了安裝、設(shè)置和集成的復(fù)雜性。選擇 BPG400 單一經(jīng)濟型封裝,在低成本、可重復(fù)的過程中進行基礎(chǔ)壓力測量。
詳細(xì)介紹
品牌 | Inficon/英福康 | 產(chǎn)地 | 進口 |
---|---|---|---|
加工定制 | 是 |
英??祻?fù)合真空計的優(yōu)點好處
從 5 x 10-10 mbar 至大氣氣壓(3.8 x 10-10 Torr 至大氣氣壓)的極其寬泛的測量范圍
在 10-8 ...10-2 mbar 5% 工藝壓力范圍內(nèi)為表現(xiàn)出優(yōu)秀的重復(fù)性
皮拉尼聯(lián)鎖保護 Bayard-Alpert 系統(tǒng)在高壓操作下絲極過早燒毀和過度污染
長使用壽命氧化釔銥絲
備有可選的圖形顯示器和現(xiàn)場總線接口
高真空皮拉尼自動調(diào)節(jié),減少操作員的干預(yù)
符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)
低真空至超高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制
英??祻?fù)合真空計的典型應(yīng)用
對半導(dǎo)體過程和傳輸腔室的壓力測量
工業(yè)鍍膜
低真空至超高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制
產(chǎn)品咨詢