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簡要描述:PEV-1美國HEY壓電閥是為了適用于要求精確控制氣體流量的場合,主要應用領域包括: 磁控濺射,光學鍍膜,太陽能電池,ITO,等離子體刻蝕等。
產(chǎn)品分類
詳細介紹
品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地 | 進口 |
---|---|---|---|
加工定制 | 否 |
PEV-1美國HEY壓電閥
特點
1. 控制模式:開環(huán)控制和閉環(huán)控制
2. 易于集成:可與國產(chǎn)自動壓強控制儀配套使用,來實現(xiàn)閉環(huán)控制,達到穩(wěn)定壓強的目的,性價比高,同時亦可選擇進口壓強控制儀
3. 響應時間快
4. 性能穩(wěn)定,壓電陶瓷片壽命長
5. 無機械連接件,無伺服馬達,無磨損,在斷電的情況下可實現(xiàn)自動關閉的特點
技術參數(shù)
流量 0--500 scmm
響應時間 2 毫秒
集成漏率 5×10-8sml/sec
驅動電壓 0-100VCD/0-24VDC
電路連接 標準BNC接頭(Q9)
溫度范圍 100C至600C
zui大入口壓強 50PSI
重量 800克
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