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INFICON CrystalSix探頭(傳感器)

簡要描述:CrystalSix 傳感器在一個傳感器頭中含有 6 顆石英監(jiān)控器晶體,為 OLED、MBE、太陽能、長時間光學(xué)鍍膜或其他需要長時間腔室排氣的過程提供安全性。與 INFICON 薄膜沉積監(jiān)控器結(jié)合使用時,CrystalSix 在當(dāng)前晶體失效或不穩(wěn)定的情況下,會自動將新的晶體轉(zhuǎn)動到適當(dāng)?shù)奈恢?。晶體更換是自動完成的,不會中斷您的過程,支持持續(xù)監(jiān)控沉積速率。

  • 產(chǎn)品型號:750-446-G1
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時間:2024-12-19
  • 訪  問  量:2656
  • 產(chǎn)品資料:查看pdf文檔

詳細(xì)介紹

品牌Inficon/英???/td>產(chǎn)地進(jìn)口
加工定制

INFICON750-446-G1 CrystalSix探頭的詳細(xì)資料:

INFICON CrystalSix 晶體對于要求連續(xù)監(jiān)控速率的長時間過程非常重要。CrystalSix 傳感器在一個傳感器頭中含有 6 顆石英監(jiān)控器晶體,為 OLED、MBE、太陽能、長時間光學(xué)鍍膜或其他需要長時間腔室排氣的過程提供安全性。與 INFICON 薄膜沉積監(jiān)控器結(jié)合使用時,CrystalSix 在當(dāng)前晶體失效或不穩(wěn)定的情況下,會自動將新的晶體轉(zhuǎn)動到適當(dāng)?shù)奈恢?。晶體更換是自動完成的,不會中斷您的過程,支持持續(xù)監(jiān)控沉積速率。

晶體索引通過氣動機(jī)制完成。相比同類裝置使用的昂貴的真空發(fā)熱電機(jī),這種氣動馬達(dá)可提供更好的晶體熱穩(wěn)定性。一個 8 英寸的水冷卻管保持傳感器頭的熱穩(wěn)定性,并提供晶體位置的靈活性。

與某些 INFICON 薄膜控制器結(jié)合使用時,傳感器提供位置反饋,因此可針對特定的材料安排特定的位置。

功能

  • 裝有 6 顆晶體,可進(jìn)行可靠的自動轉(zhuǎn)換,從而最大限度延長過程運行時間

  • 晶體轉(zhuǎn)換由空氣驅(qū)動完成(競爭產(chǎn)品是使用生熱電機(jī)),因而晶體溫度非常穩(wěn)定

  • 1/8" 管保持熱穩(wěn)定性,并提供傳感器放置的靈活性

  • 提供可選晶體閘

INFICON CrystalSix探頭(傳感器)
































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