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INFICON薄膜鍍層控制儀

簡要描述:IC6薄膜沉積控制器通過將INFICON薄膜控制器的成熟性能與功能相結合,提供的價值,所有這些都旨在讓您從沉積過程中獲得最大收益。IC6 使用我們的 ModeLock 頻率測量系統(tǒng),以速率分辨率(每 1/10 秒 0.00433 Å/s)提供穩(wěn)定、高分辨率的速率和厚度測量。

  • 產(chǎn)品型號:IC6
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2024-12-19
  • 訪  問  量:3491
  • 產(chǎn)品資料:查看pdf文檔

詳細介紹

品牌Inficon/英福康產(chǎn)地進口
加工定制

IC6 INFICON薄膜鍍層控制儀

重復 功能豐富的IC6提供的測量精度

IC6薄膜沉積控制器通過將INFICON薄膜控制器的成熟性能與dute的功能相結合,提供zhuoyue的價值,所有這些都旨在讓您從沉積過程中獲得最大收益。IC6 使用我們的 ModeLock 頻率測量系統(tǒng),以速率分辨率(每 1/10 秒 0.00433 ?/s)提供穩(wěn)定、高分辨率的速率和厚度測量。沒有其他石英晶體控制器具有IC6的性能,質量和功能,使您可以實現(xiàn)zhuoyue的可重復性。

功能

  • INFICON 模式鎖定技術可確保zuiwending、最高分辨率和厚度測量,即使在非常低的速率下也是如此

  • Auto Z 通過在材料沉積時自動確定 Z 比來提高厚度精度

  • 同時對多達六個信號源進行編碼

  • 彩色 TFT LCD 顯示屏可讓您輕松查看過程中的進展情況

  • +/-0.0035 Hz 超過 100ms 采樣

  • 用于屏幕截圖、配方存儲和數(shù)據(jù)記錄的 USB 數(shù)據(jù)存儲

  • 強大的 I/O,可靈活地集成到簡單或復雜的系統(tǒng)中(使用可擴展的輸入 (28) 和輸出(24 個繼電器,14 個 TTL 輸出),并使用邏輯功能(100 個邏輯語句)

  • 標配 6 個 DAC 輸出,另外 6 個可選,用于源控制、速率或厚度監(jiān)控

  • 可容納多達 50 個流程,每個流程 200 層,流程可以鏈接在一起,最多 10,000 層

  • 多傳感器平均,最多 8 個傳感器

  • 4 米 XIU 選件能夠為大型系統(tǒng)使用長真空傳感器電纜

  • 可選以太網(wǎng)通信

  • 可選的IC6配置編輯器軟件(部件號781-620-G1) - 基于LabVIEW®的Windows®軟件,允許離線創(chuàng)建和編輯IC6配置文件,并將IC / 5配置文件轉換為IC6格式。

  • 符合 RoHS 標準

典型應用

  • gaoduan光學鍍膜

INFICON薄膜鍍層控制儀

























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