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簡要描述:Transpector 2INFICON殘余氣體質(zhì)譜儀超高靈敏度和性能優(yōu)異的新一代殘余氣體分析儀
產(chǎn)品分類
詳細(xì)介紹
品牌 | Inficon/英???/td> | 產(chǎn)地 | 進(jìn)口 |
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加工定制 | 否 |
Transpector 2INFICON殘余氣體質(zhì)譜儀
Transpector 2的特點(diǎn):
1、100,200和300-amu系統(tǒng)帶法拉第杯或電子倍增器/法拉第杯的組合。
2、改進(jìn)的氫檢測。
3、的峰值和位置的穩(wěn)定性。
4、與原始的Transpector相比訊噪比提高10倍。
5、快速掃描低值訊號。
6、9個(gè)量級的電子學(xué)動態(tài)量程。
7、用于單傳感器和多傳感謝器系統(tǒng)的軟件選件
8、分壓測量從1X10-4乇至2X10-14乇
INFICON,RGA技術(shù)的者按照當(dāng)今工藝和應(yīng)用要求更新了Transpector殘余氣體質(zhì)譜儀系列。Transpector 2提供更良好的氫檢測,更快速的掃描,擴(kuò)展的動態(tài)量程,更高的同位素分辨靈敏度和的譜峰及幅值穩(wěn)定性。它是過程監(jiān)測,過程診斷與檢漏,是廣大客戶zui明智的選擇。
Transpector 2是基于四極場的智能傳感器,全部傳感器電子驅(qū)動加上微處理器安裝在一個(gè)附在傳感器的小型輕便的密閉匣內(nèi)。由于它是智能的傳感器具有相當(dāng)?shù)撵`活性,您可使用當(dāng)前的計(jì)算機(jī)或從INFICON選購PC和軟件包,兩種通訊鏈接。RS232用于單傳感器,RS485用于多傳感器配置。簡單的指令協(xié)議支配全部Transpector功能。
Transpector 2提供更精確可靠的數(shù)據(jù)是由采用RF和前置放大器測量電路。這些電子學(xué)提高了氫的檢測性能和降低了所有氣體的zui小可檢分壓,從而得到更好的污染控制,以及更快速更穩(wěn)定的掃描,*適合當(dāng)今快速工藝過程的要求。
改進(jìn)帶來更靈敏的氫檢測
Transpector 2的RF電路,在保持適當(dāng)功率的同時(shí)使用較高的RF頻率,將氫的檢測提高至PPM量級。此外,由于RF頻率是數(shù)字合成的,它自動調(diào)整至適合于傳感器的頻率,并鎖定在這個(gè)頻率上。改進(jìn)的PF電路減少預(yù)熱所需的時(shí)間,提供的峰幅值與位置的穩(wěn)定性,實(shí)際上免除了日常調(diào)諧質(zhì)量刻度的要求。
更快速的數(shù)據(jù)掃描
Transpector 2新的前置放大器允許用戶快速掃描低值訊號,從而跟上過程變化的進(jìn)度。由于降低了噪聲數(shù)據(jù)更加穩(wěn)定與及時(shí)。當(dāng)使用電子倍增器取樣時(shí),訊噪比可比原始的Transpector高至7倍(比法拉第模式高至10倍)。電子單元提供9個(gè)量級的動態(tài)量程(從1X10-6至1X10-15安)
Transpector 2與TWare32(或老的軟件如TranspectorWare)結(jié)合提供一個(gè)滿足當(dāng)前的科研生產(chǎn)過程監(jiān)測,和數(shù)據(jù)收集迫切需要的理想系統(tǒng)??蛇m用Windows95,98,2000,Me或MT的TWare32包含了整個(gè)陳列的基本RGA功能,包括趨向分析,條圖形式,檢漏,模擬和可選擇的譜峰模式。它還包含過程監(jiān)測功能包括處方的產(chǎn)生,自動化數(shù)據(jù)收集,和閾值限的設(shè)點(diǎn)。
各種軟件選件
如我們的標(biāo)準(zhǔn)軟件包(適用Windows的TWare32)不能滿足您的應(yīng)用的需要,我們可為客戶供應(yīng)特定的程序包。動態(tài)數(shù)據(jù)交換(DDE)驅(qū)動程序可自動設(shè)置用于通訊的Transpector,允許用戶要收集的數(shù)據(jù)和進(jìn)入DDE-兼容程序,如EXCEL或WonderWare直接讀數(shù)據(jù)。
客戶特定的工具集成
INFICON為更應(yīng)用需要提供一種客戶特定的工具集成軟件包FabGuard。Fabguard利用基于工具的狀態(tài)和Transpector的RGA數(shù)據(jù)分析例程提供全面的報(bào)警。這個(gè)多功能的集成軟件包還可與RGA以外的傳感器如光輻射譜儀或粒子計(jì)數(shù)器通訊。采用許多半導(dǎo)體工具的SECS II接口,F(xiàn)abGuard要收集來自工具本身的數(shù)據(jù),并將它們添加到各種分析算法中。
只支付您需要的性能
Transpector殘余氣體質(zhì)譜儀提供大量適合您應(yīng)用要求的選擇。為基本壓強(qiáng)的應(yīng)用我們供應(yīng)若干開式源的Transpector型號,范圍從1至300amu,用法拉第杯(FC)或電子倍增器/法拉第杯(EM/FC)組合,可根據(jù)實(shí)際的要求選用。
Transpector XPR2為過程監(jiān)測應(yīng)用提供zui簡單方式的氣體污染監(jiān)測和過程校驗(yàn)。它運(yùn)行于高至20毫乇的壓強(qiáng),在過程中檢測低至10ppm的污染物。為滿足ppm或亞-ppm污染物的檢測要求,INFICON供應(yīng)Transpector CIS2(閉式離子源)。它的特點(diǎn)是配備完整的聯(lián)鎖抽氣系統(tǒng),可從大氣壓至高真空進(jìn)行過程取樣。
簡化的多傳感器系列配置
Transpector 2的多通道功能使多室裝置能更簡便和經(jīng)濟(jì)地運(yùn)行。單個(gè)計(jì)算機(jī)可操作多臺Transpector在RS485網(wǎng)絡(luò)上與CIS和XPR等型號組成任何簡便與高性能的組合。每臺Transpector 2可通過它配置的DIP開關(guān)簡易地分配地址。為故障查找或服務(wù)功能,由RS232C接口通過HyperTerminal連接至計(jì)算機(jī)很容易完成任何傳感器網(wǎng)絡(luò)上的就地控制。在網(wǎng)絡(luò)上每個(gè)單元單獨(dú)地操作和與網(wǎng)絡(luò)上的其它傳感器同步運(yùn)行,這樣每臺Transpector 2內(nèi)的全部繼電器和控制器連續(xù)動作。電源接口將由機(jī)臺或外接電源供應(yīng)的24伏電壓連接至Transpector 2。
保持您的工藝過程和儀器本身
Transpector 2儲存您的校準(zhǔn)和設(shè)點(diǎn)數(shù)據(jù),與控制計(jì)算機(jī)無關(guān)。(計(jì)算機(jī)的作用如一臺外圍設(shè)備,儲存與顯示您的過程數(shù)據(jù),允許您與傳感器通訊)。這樣即使計(jì)算機(jī)與探頭的連接斷開或因任何其它原因丟失通訊,探頭將繼續(xù)進(jìn)行監(jiān)測與控制。此外,當(dāng)總壓強(qiáng)超過工作中的探頭值限或電子學(xué)超過它的正常工作溫度時(shí),編程的真空系統(tǒng)可自動關(guān)斷Transpector 2的發(fā)射。
Transpector 2可控制多至3個(gè)設(shè)點(diǎn)的狀態(tài)繼電器,為報(bào)警指示提供外訊號,或當(dāng)氣體超過它的規(guī)定值時(shí)將過程中止。兩個(gè)差分的10伏模擬輸入通道用于將RGA數(shù)據(jù)與模擬數(shù)據(jù)相結(jié)合(例如:總壓強(qiáng),光輻射或溫度計(jì)數(shù)據(jù))以及一個(gè)提供四個(gè)0-10伏輸出和模擬電路板選件。
兩個(gè)LED指示燈,一個(gè)顯示發(fā)射on 或off,另一個(gè)顯示Transpector 2的電源和是否作好通訊準(zhǔn)備,提供Transpector狀態(tài)的就地指示,免除涉及對遙控位置的PD和軟件的需求。
Transpector 2INFICON殘余氣體質(zhì)譜儀一般用途:
下列應(yīng)用中的檢漏,真空故障查找和出氣研究:
1、 光學(xué)鍍膜
2、 表面科學(xué)
3、 退吸研究
4、 加速器/儲存環(huán)
5、 高能物理
6、 宇航工程
7、 MBE
工藝過程的特性化和監(jiān)測中:
1、 真空熱處理
2、 磁盤制造
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