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電容膜片真空計(0.1 ...1000 乇/毫巴)

簡要描述:INFICON SKY CDG025D 電容式隔膜真空計系列的高精度、溫度補償型壓力計,可以在惡劣的生產(chǎn)加工環(huán)境中提供穩(wěn)定的性能。高級數(shù)字電子元件可提高儀表性能, 且易操作, 例如一鍵歸零功能和設(shè)定點調(diào)整。防腐蝕超純陶瓷傳感器提供優(yōu)異的零位穩(wěn)定性(包括氣壓突變的情況),預(yù)期使用壽命長達(dá)數(shù)百萬次壓力循環(huán)。傳感器屏蔽可防止儀表被過程污染。堅固的機械設(shè)計和數(shù)字電子元件可以改進(jìn)電磁兼容

  • 產(chǎn)品型號:INFICON CDG025D-X3
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時間:2024-12-19
  • 訪  問  量:2981
  • 產(chǎn)品資料:查看pdf文檔

詳細(xì)介紹

品牌Inficon/英???/td>產(chǎn)地進(jìn)口
加工定制

CDG025D-X3 INFICON電容膜片真空計

SKY® CDG025D-X3 0.1 ...1000 TORR / MBAR 過程測量儀

KY® CDG025D-X3 - 過程儀表 - 溫度補償,環(huán)境獨立

INFICON SKY CDG025D 電容式隔膜真空計系列的高精度、溫度補償型壓力計,可以在惡劣的生產(chǎn)加工環(huán)境中提供穩(wěn)定的性能。高級數(shù)字電子元件可提高儀表性能, 且易操作, 例如一鍵歸零功能和設(shè)定點調(diào)整。防腐蝕超純陶瓷傳感器提供優(yōu)異的零位穩(wěn)定性(包括氣壓突變的情況),預(yù)期使用壽命長達(dá)數(shù)百萬次壓力循環(huán)。傳感器屏蔽可防止儀表被過程污染。堅固的機械設(shè)計和數(shù)字電子元件可以改進(jìn)電磁兼容性 (EMC)、長期穩(wěn)定性和溫度補償。CDG025D 為開機后快速穩(wěn)定以及從氣壓中快速恢復(fù)的功能樹立了新的標(biāo)準(zhǔn)。

好處

  • 從 100 mTorr 至 1000 Torr 的滿刻度量程

  • 電源接通后快速穩(wěn)定

  • 暴露于大氣壓后快速恢復(fù)

  • 防腐蝕陶瓷傳感器

  • zhuoyue的長期信號穩(wěn)定性

  • 溫度補償

  • 傳感器受雙重防污染保護(hù)

  • 一鍵調(diào)零功能

  • 寬范圍電源

  • 2個設(shè)定點

  • RS232 接口

  • 無塵室合規(guī)

典型應(yīng)用

  • 用于蝕刻、CVD、PVD 和 ALD 的半導(dǎo)體制造設(shè)備

  • 數(shù)據(jù)存儲和顯示器制造設(shè)備

  • 工業(yè)真空設(shè)備

  • 經(jīng)濟(jì)、高度精確的壓力測量



































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