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簡要描述:1179A MKS1179A MKS1179A質(zhì)量流量計是一種通用型彈性密封的質(zhì)量流量控制器,可在多種應用場合測量和控制氣體的流量,特別是可重復性要求高的場合。配上合適的壓力控制器,它還可以作為壓力控制器使用。
產(chǎn)品分類
詳細介紹
品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地 | 進口 |
---|---|---|---|
加工定制 | 否 |
1179A MKS1179A MKS1179A質(zhì)量流量計
1179A MKS1179A MKS1179A質(zhì)量流量計的概述:
1179A是一種通用型彈性密封的質(zhì)量流量控制器,可在多種應用場合測量和控制氣體的流量,特別是可重復性要求高的場合。配上合適的壓力控制器,它還可以作為壓力控制器使用。
對于當今市場上的質(zhì)量流量控制器,1179A可作為直接替代的產(chǎn)品,標準的3英寸底座使1179能夠直接進行安裝而無需改變現(xiàn)有的氣體管道。它具有數(shù)字和模擬兩種模式,其精度為全量程的1%。
1179A MKS1179A MKS1179A質(zhì)量流量計的技術(shù)參數(shù):
材質(zhì):316不銹鋼
靈敏度:全量程的0.1%
連接器:模擬:9Pin或15Pin或20Pin Card edge.
數(shù)字:RS485或Device net或Profibus
質(zhì)保期:有限保修自售出之日起12個月。
熱機時間:小于2Min.MKS壓力計
控制量程:2%to的全量程。
測量精度:全量程的1%
響應速度:小于2Sec.
輸入電壓:±15VDC@100ma
輸出電壓:0-5VDC
法蘭接口:Swagelok 4VCR,Swagelok4 VCO,Swage 1/4"等
全量程:10SCCM,20SCCM,50SCCM,100SCCM,200SCCM,500SCCM,1000SCCM,2000SCCM,5000SCCM,10000SCCM,20000SCCM。
1179A MKS1179A MKS1179A質(zhì)量流量計的型號及采購序列:
例:型號1179A00411CR1A5VXX 采購序列號
校準氣體(SEMI氣體編號)*
Helium, He 001
Argon, Ar 004
Hydrogen, H2 007
Nitrogen, N2 013
Oxygen, O2 015
1179A的具體型號說明:
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