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高壓強(qiáng)熱電離皮拉尼真空計

簡要描述:INFICON 高壓熱電離 Pirani真空計 HPG400 將高壓熱電離技術(shù)與 Pirani 傳感器整合在一個體積小、價格低的規(guī)管中,可測量 2×10-6 mbar 至大氣氣壓(1.5×10-6 Torr 至大氣氣壓)范圍內(nèi)的壓力。HPG400 提供高可重復(fù)性和再現(xiàn)性壓力測量,實(shí)現(xiàn)精確控制鍍?yōu)R過程壓力。

  • 產(chǎn)品型號:HPG400
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時間:2024-12-20
  • 訪  問  量:2962
  • 產(chǎn)品資料:查看pdf文檔

詳細(xì)介紹

品牌Inficon/英???/td>產(chǎn)地進(jìn)口
加工定制

HPG400 大氣壓到高真空真空計

HPG400高壓強(qiáng)熱電離皮拉尼真空計

INFICON 高壓熱電離 Pirani真空計 HPG400 將高壓熱電離技術(shù)與 Pirani 傳感器整合在一個體積小、價格低的規(guī)管中,可測量 2×10-6 mbar 至大氣氣壓(1.5×10-6 Torr 至大氣氣壓)范圍內(nèi)的壓力。HPG400 提供高可重復(fù)性和再現(xiàn)性壓力測量,實(shí)現(xiàn)精確控制鍍?yōu)R過程壓力。


好處

  • HPG400 可節(jié)省成本和工具空間,降低真空系統(tǒng)的安裝與設(shè)置的復(fù)雜性

  • 高壓熱電離可以準(zhǔn)確可靠地測量 1 X 10-5 至 1 mbar 范圍內(nèi)的壓力,進(jìn)而改善過程控制

  • 用戶可選的熱電離發(fā)射在 5 X 10-2 至 1 mbar 之間啟動

  • 皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)絲極,防止過早燒毀

  • 備有可選的圖形顯示器和現(xiàn)場總線接口

  • 高真空皮拉尼自動調(diào)節(jié),減少操作員的干預(yù)

  • 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

典型應(yīng)用

  • 半導(dǎo)體制造、電子工業(yè)和媒體工業(yè)中的濺鍍應(yīng)用

  • 工業(yè)鍍膜

  • 低真空至高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制






















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