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Granville-Phillips Micro-lon®ATM模塊

簡(jiǎn)要描述:GP 390型真空計(jì)運(yùn)用薄膜傳感器技術(shù),該產(chǎn)品可以提供近大氣端的精確的絕壓測(cè)量并能提供大氣端真空腔室內(nèi)精準(zhǔn)的相對(duì)壓力指示。

  • 產(chǎn)品型號(hào):GP390真空計(jì)
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2024-12-17
  • 訪  問(wèn)  量:4280
  • 產(chǎn)品資料:

詳細(xì)介紹

品牌其他品牌產(chǎn)地進(jìn)口
加工定制

Granville-Phillips系列390 Micro-lon ATM模塊(GP 390型真空計(jì))

真空測(cè)量解決方案

Granville-PhillipsMicro-lon ATM模塊復(fù)合了經(jīng)標(biāo)定的Micro-lon電離規(guī)技術(shù)和微型Conductron熱損失傳感技術(shù)和兩個(gè)壓阻薄膜傳感器于一體,從而提供了從高真空到大氣壓的精確、連續(xù)的壓力測(cè)量。

GP 390型真空計(jì)運(yùn)用薄膜傳感器技術(shù),該產(chǎn)品可以提供近大氣端的精確的絕壓測(cè)量并能提供大氣端真空腔室內(nèi)精準(zhǔn)的相對(duì)壓力指示。GP 390型真空計(jì)*的傳感器設(shè)計(jì)消除了在高壓力下影響熱損失傳感器特性的熱效應(yīng)。                         GP 390型真空計(jì)這種小型的模塊復(fù)合了全部四種傳感器及控制電子器件于一個(gè)緊湊的一體化設(shè)計(jì)中,減少了腔室真空規(guī)管的需求數(shù)量并zui小化所占空間。全量程壓力測(cè)量可以通過(guò)單一模擬量信號(hào)或可選的串行RS-485DeviceNet數(shù)字協(xié)議輸出。GP 390型真空計(jì)RS-485DeviceNet版本產(chǎn)品可以zui多選擇三個(gè)設(shè)定點(diǎn)繼電器用于工藝控制,可以在真空壓力測(cè)量范圍內(nèi)設(shè)定任意壓力值或者相對(duì)壓力值。                                  

GP 390型真空計(jì)復(fù)合規(guī)管技術(shù)

以往,在寬量程范圍內(nèi)要進(jìn)行精確測(cè)量需要對(duì)個(gè)傳感器,多個(gè)真空系統(tǒng)接口,以及相關(guān)電纜及電子器件。Granville-PhillipsMicro-lon ATM模塊GP 390型真空計(jì))合并多傳感器于一個(gè)微機(jī)控制設(shè)計(jì)中,減少了整體購(gòu)置成本,同時(shí)提高真空測(cè)量性能。

Granville-Phillips20多年成功的規(guī)管設(shè)計(jì)以及現(xiàn)場(chǎng)裝機(jī)經(jīng)驗(yàn)運(yùn)用到了生產(chǎn)新的真空測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品Micro-lon ATM模塊GP 390型真空計(jì))中。量程寬、高性能、及緊湊型設(shè)計(jì)的Micro-lon ATMGP 390型真空計(jì))是您進(jìn)行高真空系統(tǒng)壓力測(cè)量的明智之選。      

Granville-Phillips Micro-lon®ATM模塊


GP 390型真空計(jì)內(nèi)部截面

GP 390型真空計(jì)特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì):

寬量程范圍:提供從10-9Torr到大氣壓的真空壓力的連續(xù)測(cè)量。

高性能:經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的Micro-lon雙燈絲電離規(guī)技術(shù),獲的熱損失傳感器,以及精準(zhǔn)的薄膜技術(shù)消除了熱損失傳感器的熱影響,增強(qiáng)了高壓力的測(cè)量性能。

自動(dòng)控制:完整集成的傳感器自動(dòng)控制激活和斷開(kāi)電離規(guī),因此簡(jiǎn)化了規(guī)管操作。設(shè)定點(diǎn)的產(chǎn)品中,觸點(diǎn)繼電器可用來(lái)控制其他真空器件或?qū)崿F(xiàn)安全互鎖。設(shè)定點(diǎn)會(huì)存于非易失性存儲(chǔ)器中。

緊湊設(shè)計(jì):一個(gè)Micro-lon規(guī)管,一個(gè)熱損失傳感器連同一個(gè)大氣薄膜規(guī)、一個(gè)絕壓薄膜規(guī),和控制器件全部集成在一個(gè)緊湊的模塊包中。

RS-485接口:允許模塊和主機(jī)之間進(jìn)行通訊,并可使用可選的RS-485模塊配置進(jìn)行通訊。

DeviceNet接口:可提供高速壓力測(cè)量讀數(shù)及簡(jiǎn)單的規(guī)管配置參數(shù)的獲取。

可選的過(guò)程控制繼電器:zui多可用三個(gè)設(shè)定          

Granville-Phillips Micro-lon®ATM模塊

GP 390型真空計(jì)傳感器開(kāi)關(guān)點(diǎn)

點(diǎn)控制繼電器從而簡(jiǎn)化工藝控制功能。設(shè)定點(diǎn)可以通過(guò)RS-485接口來(lái)配置。

現(xiàn)場(chǎng)可更換的規(guī)管組件:規(guī)管組件可以在模塊從真空系統(tǒng)上取下后僅僅使用螺絲刀就能實(shí)現(xiàn)快速簡(jiǎn)單的更換。

 GP 390型真空計(jì)技術(shù)規(guī)格

測(cè)量范圍(對(duì)于空氣或N2)(注釋12、3

Torr

1x10-9到大氣壓

Mbar

1.33x10-9到大氣壓

Pa

1.33x10-7到大氣壓

X射線(xiàn)極限(注釋4

Torr

<3x10-10

Mbar

<4x10-10

Pa

<4x10-8

基于環(huán)境壓力的相對(duì)壓力測(cè)量范圍

Torr

-750+250

Mbar

-999333

KPa

-99.933.3

精度(對(duì)于空氣或N2的絕壓)(注釋5

Torr

1x10-6100mTorr+/-15%讀數(shù);100mTorr150+/-10%讀數(shù);1501000+/-2.5%讀數(shù)

Mbar

1.33x10-60.133+/-15%讀數(shù);0.133200+/-10%讀數(shù);2001333+/-2.5%讀數(shù)

Pa

1.33x10-613.3+/-15%讀數(shù);13.32x104+/-10%讀數(shù);2x1041.33x105+/-2.5%讀數(shù)

重復(fù)性(對(duì)于空氣或N2的絕壓)(注釋6

Torr

1x10-6100mTorr+/-5%讀數(shù);100mTorr150+/-2.5%讀數(shù);1501000+/-1.0%讀數(shù)

Mbar

1.33x10-60.133+/-5%讀數(shù);0.133200+/-2.5%讀數(shù);2001333+/-1.0%讀數(shù)

Pa

1.33x10-613.3+/-5%讀數(shù);13.32x104+/-2.5%讀數(shù);2x1041.33x105+/-1.0%讀數(shù)

精度(相對(duì)壓力)

+/-2.5Torr+2.5%讀數(shù));+/-3.3mbar+2.5%讀數(shù));+/-0.33KPa+2.5%讀數(shù))

響應(yīng)時(shí)間

<25毫秒

模擬量輸出

壓力

對(duì)數(shù),0.57.0VDC,0.5V/數(shù)量級(jí)

相對(duì)壓力

線(xiàn)性,1-5VDC,-750+250Torr-1000+333mbar;-100+33KPa

RS-485串口

數(shù)字通訊口

2線(xiàn),半雙工

通訊格式

ASCII,無(wú)奇偶校驗(yàn)位,1位停止位

波特率

1200,2400,4800,9600,19200(默認(rèn)),38400

地址

0-63,通過(guò)地址選擇開(kāi)關(guān)選擇或通過(guò)RS-485命令

DeviceNet網(wǎng)絡(luò)接口

通訊類(lèi)型

輪詢(xún)I/O和顯示傳送

通訊格式

BOOL,BYTE,STRUCTSSTRING,REAL,INT,UINT,USINT,EPATHWORD數(shù)據(jù)

波特率

125,250500千波,開(kāi)關(guān)選擇

地址

0-63,通過(guò)地址選擇開(kāi)關(guān)選擇

工作溫度

10-400C50-1040F)不結(jié)露

存放溫度

-40-+700C-40-+1580F)不結(jié)露

烘烤溫度

zui高1050C2210F),移除電子器件

電離規(guī)發(fā)射電流

自動(dòng)量程切換

電離規(guī)自動(dòng)控制設(shè)定(默認(rèn))

電離規(guī)啟動(dòng)

2x10-2Torr;2.66x10-2mbar2.66Pa,隨壓力上升關(guān)閉

電離規(guī)停止

3x10-2Torr;3.99x10-2mbar3.99Pa,隨壓力上升關(guān)閉

切換至高發(fā)射

5x10-6Torr;6.66x10-6mbar,6.66x10-4Pa,隨壓力上升關(guān)閉

切換至低發(fā)射

1x10-5Torr1.33x10-5mbar,1.33x10-3Pa,隨壓力上升關(guān)閉

電離規(guī)除氣

電子轟擊;每個(gè)燈絲3W一分鐘

電離規(guī)燈絲

鎢絲或鍍氧化釔的銥絲

燈絲操作(注釋7

交替(氧化釔燈絲的默認(rèn)模式),自動(dòng),手動(dòng)(鎢絲的默認(rèn)模式)

熱損失傳感絲

鍍金鎢

規(guī)管容積

10.8cm30.65in3

LED指示

模塊狀態(tài)

I/O連接

RS-485/模擬量:15D型插針接頭,DeviceNet5針微型接頭

zui大沖擊電流

RS-485/模擬量:2A 48W 0.5秒,DeviceNet0.25A

供電要求

RS-485/模擬量:24VDC+10%-15%,1A 22W額定;DeviceNet24VDC(1126.4VDC)額定0.2A

CE認(rèn)證

EMC電磁兼容指令

89/3361/EEC;EN50081-2,EN50082-2,EN1326-1

低壓指令

73/23/EEC;EN61010-1

顯示選項(xiàng)

圖形液晶

繼電器設(shè)定點(diǎn)選項(xiàng)

RS-485DeviceNet2SPDT(NO/NC)3SPST(NO),每個(gè)設(shè)定點(diǎn)都可以獨(dú)立分配給絕壓或相對(duì)壓力測(cè)量

繼電器觸點(diǎn)額定值

zui大

1A  30VDC阻抗

zui小

5mA  5VDC阻抗

重量

728.5g25.7oz)(2.75CF法蘭)

外殼材料

壓鋁粉末噴涂

暴露于真空下的材質(zhì)

304不銹鋼,鉭,鎢,銥絲鍍氧化釔,氧化鋁,銀銅焊料,可伐,可伐鍍金或鍍鎳,硅酸硼玻璃

GP 390型真空計(jì)注釋?zhuān)?/span>

  1. 測(cè)量結(jié)果會(huì)隨不同氣體和混合情況而改變。

  2. Micro-lon ATM模塊不能用于易燃易爆氣體測(cè)量。

  3. 大氣壓的數(shù)值是基于標(biāo)定時(shí)環(huán)境壓力。

  4. X射線(xiàn)極限是規(guī)管的zui小絕壓讀值。在X射線(xiàn)極限附近不可能進(jìn)行重復(fù)測(cè)量。

  5. 精度(規(guī)管讀數(shù)和校驗(yàn)參考標(biāo)準(zhǔn)之間的差異)是通過(guò)數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)確定的并且包括了規(guī)管和電子器件的綜合性能。

  6. 重復(fù)性是指同一模塊在不同時(shí)間讀取相同壓力值的能力。

  7. 在交替模式下模塊將交替激活電離規(guī)燈絲。在自動(dòng)模式下燈絲1會(huì)先工作直至它不能工作為止,然后模塊自動(dòng)切換到燈絲2工作。在手動(dòng)模式下模塊會(huì)按照自動(dòng)模式的操作方式讓燈絲工作,除非手動(dòng)干預(yù)要求激活燈絲2。

Granville-Phillips Micro-lon®ATM模塊                                                                  

GP 390型真空計(jì)尺寸































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