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簡要描述:EBS-530 電子束掃頻控制器會生成大量與電子束 (e-beam) 沉積源配合使用的精密掃頻圖案。
產(chǎn)品分類
詳細介紹
品牌 | Inficon/英福康 | 產(chǎn)地 | 進口 |
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加工定制 | 否 |
自定義電子束掃頻控制裝置
EBS-530 電子束掃頻控制器會生成大量與電子束 (e-beam) 沉積源配合使用的精密掃頻圖案。 用戶可選擇提供的基本形狀(圓、數(shù)字 8、線和點),也可以創(chuàng)建用戶定義的圖案,以優(yōu)化金屬和電介質材料的沉積控制。 通過應用提供的圖案修改器,可創(chuàng)建基本形狀的變體。 提供的圖案修改器包括功率、掃頻、旋轉速度和功率配置文件。
通過用戶友好的觸摸屏 LCD 顯示屏,可以輕松操作和編程。 EBS-530 zui多可以存儲 32 個不同的掃頻圖案。 從前面板、通過遠程輸入或通過標準 RS-232/RS-485 接口,可以輕松選擇掃頻圖案。
從掃頻控制裝置嵌入的一組固定的基本掃頻圖案開始,用戶可以設計適合源和沉積材料特征的理想電子束掃頻圖案。 EBS-530 生成的掃頻圖案產(chǎn)生雙電流輸出,從而能夠驅動大多數(shù)電子束沉積源的 X 和 Y 掃頻線圈。
EBS-530 提供校準功能,用于補償不同類型與品牌電子槍之間的差異,并提供沉積材料的加熱。
· 功能強大、易于使用的校準功能可以補償槍磁體的不規(guī)則
· 高輸出電流: 0 至 5 安培交流電,帶 10 歐姆負載
· 驅動器接地或浮動線圈
· 高頻響應: 500 赫茲用于線圈 <8 豪亨;200 赫茲用于線圈 = 33 豪亨
· 圖案類型: 圓、數(shù)字 8、線、點和用戶定義
· 手持式控制器用于手動光束控制和校準
· RS-232/RS-485 通信輸入
· 輸入功率: 85 至 265 伏(交流),50/60 赫茲
· 功率因數(shù) = zui大線圈電流時為 0.99
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