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C系列質量流量控制器(MFC)是緊湊且快速響應型,用于非腐蝕性氣體,流量從50SCCM至50SLM,范圍從滿量程0.1%至??刂品绞接?至5VDC模擬和RS485,所需電源電壓為24VDC。
GE50A是通用型彈性密封流量控制器,適合流量范圍在5SCCM至50SLM的各種氣體流量控制。該GE50A控制器采用了的數(shù)字流量控制的電子原件及技術的熱傳感器和機械設計。
1179A MKS1179A MKS1179A質量流量計是一種通用型彈性密封的質量流量控制器,可在多種應用場合測量和控制氣體的流量,特別是可重復性要求高的場合。配上合適的壓力控制器,它還可以作為壓力控制器使用。
180A ALTATM MKS數(shù)字型金屬密封流量計