產(chǎn)品中心
當(dāng)前位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > HTC真空閥 > HTC真空蝶閥
產(chǎn)品分類
HTC真空閥
相關(guān)文章
中國臺(tái)灣日揚(yáng)APC蝶閥的功能通常是阻絕或是調(diào)節(jié)流量, 其關(guān)閉的機(jī)構(gòu)主要為一個(gè)圓型片, 操作的方式和真空球閥很類似, 可以快速的開啟或關(guān)閉, 蝶閥受到歡迎的主要原因是重量比較輕, 就不需要太多的支撐。
真空傳輸閥是采用了直連驅(qū)動(dòng)技術(shù)的真空閥,外形尺寸小,設(shè)計(jì)緊湊,所有動(dòng)件皆位于大氣側(cè)因而與真空側(cè)隔絕,可減少粉塵產(chǎn)生,并提升產(chǎn)品的使用壽命。另外還有無氣壓時(shí)的封合自鎖保護(hù),封板快速拆裝設(shè)計(jì)易維修等優(yōu)點(diǎn)。
真空矩形閥廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電產(chǎn)業(yè)之鍍膜設(shè)備,安裝于生產(chǎn)線與過渡腔室(load-lock chamber),過渡腔室(load-lock chamber)與傳輸系統(tǒng)(handling system),傳輸系統(tǒng)(handling system)與制程腔室(process chamber)等需要真空與壓力分隔的地方。
HTC真空蝶閥的功能通常是阻絕或是調(diào)節(jié)流量, 其關(guān)閉的機(jī)構(gòu)主要為一個(gè)圓型片, 操作的方式和真空球閥很類似, 可以快速的開啟或關(guān)閉, 蝶閥受到歡迎的主要原因是重量比較輕, 就不需要太多的支撐。
APC蝶閥主要應(yīng)用: 真空壓力控制和隔離閥門 應(yīng)用產(chǎn)業(yè) SEMI - 半導(dǎo)體 FPD - 光電面板 PVD - 物理氣相沉積 Solar - 太陽能
TEL:0755-26028990